九州セミコンダクターKAWの製品・サービス一覧

フォトリソ工程と連携したエッチング受託加工サービスを提供しています。ドライ・ウェット両方式に対応し、微細構造形成・膜除去・パターン加工など、多様なニーズにお応えします。

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半導体・電子部品分野におけるフォトリソグラフィー工程の受託加工サービスを提供しています。 微細パターン形成に必要な露光・現像・レジスト処理を、高精度・高再現性・短納期で対応。試作から量産まで、幅広いニーズに応えます。 ■ 主なサービス内容 ・レジスト塗布：スピン方式に対応 ・露光：ステッパー／マスクアライナーによる高精度アライメント ・現像・ベーク：安定したプロセス制御 ・検査・評価：寸法・欠陥・膜厚などの確認 ・マスク設計支援：データ変換・設計相談も可能

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CVD装置とスパッタ装置を保有しており、 プラズマCVD装置では、SiO2、SiN、SiON、a-Si膜を成膜する事が可能です。 スパッタリング装置では、Ti、Cu、Ni、Cr、AI、Ta、AICu、NiCr、AlSiCu、Ta2O5等の膜を成膜する事が可能です。 その他の膜種につきましては、応相談となります。 また、対応可能な基板としてはシリコン、石英（ガラス）、サファイア、SiC、GaN、GaAs、InP 等(その他応相談) 　　　Φ８インチサイズまでの物であれば異形基板にも対応可能。

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ファクトリーオートメーション 多軸ロボットを使用した工場の自動化をご提案しております。 単純作業の自動化、外観検査、自動搬送、複数工程の集約（多軸ロボットによる多能工）など。 ・各種自動化装置の設計・組立・据付・アフターサポート ・産業用ロボットを使用したソリューションの提案 ・治工具の設計・組立 　　搬送/取出し/検査/収納/整列/位置決め/計測 ・量産機器の組立受託（品質管理・部品管理） 　　一般機器/電子機器/精密機器/ユニット組立て

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少量試作・開発・量産まで、ウエハー加工に関する受託加工を行っております。 社内加工では成膜加工（CVD、スパッタリング）・フォトリソ・エッチング加工を行うことが出来、それ以外の加工は協力企業での加工となります。 成膜は、ウエハー上に数百ナノの絶縁膜、金属膜を形成。 フォトリソは、マスクに描かれたミクロン単位のパターンをウエハー上のレジスト膜に転写しパターニング。 エッチングは、形成された膜、またはシリコン等を化学反応で削り、パターンを形成します。 テスト用、評価用パターンウエハーの製作も行っています。 成膜を行った膜付きウエハーや、ウエハー単体での販売も行っております。お気軽にお問合せください。

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株式会社九州セミコンダクターKAWでは、マイクロ流体チップの 製造・販売及び受託生産を行っております。 PDMS製は簡便かつ短時間にマイクロ流路を作成することができ、 短納期対応が可能。当社の得意とするリソグラフィー技術を活用した マイクロ流路の開発業務から、量産体制への移行もスムーズです。 「検査や実験にかかる時間を短くしたい」「貴重な検体や試料の使用料を 低減したい」などのお困りごとを解決します。 【特長】 ■鋳型作製～生産まで社内一貫生産 ■リソグラフィー技術を活用した高精度微細加工 ■安定した短納期 ■接着剤を使用しない分子接着技術による接合 ■流路面接合基材は各種プラスチックも選択可能 ■高額な金型製作を必要としない為、試作や少量生産に最適 ※詳しくはホームページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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