ナノインコーター(NIC-1510)タンク入替可+超音波洗浄槽付
φ250～φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能
本装置は、φ250～φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能な装置です。またそれぞれのタンクは交換が簡易で、多くの異なるコート液を塗布及び評価することに適しています。1槽目に超音波洗浄槽を設置し、洗浄、コート、リンスなどの運転も可能としました。
- 企業：株式会社ＳＤＩ 京都本社
- 価格：500万円 ~ 1000万円
ナノインコータ×株式会社ＳＤＩ - メーカー・企業と製品の一覧
ナノインコータの製品一覧
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ナノインコーター(離型剤塗布装置) NIC-1103
6〜8インチ基板対応、汎用性に優れた中型ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ストローク250mm、対象サイズ6〜8インチに対応するモデルです。中型基板を均一にコーティング可能で、小ロット生産や試作工程に活用できます。高品質な膜形成を実現し、再現性の高い処理が可能です。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社ＳＤＩ 京都本社
- 価格：100万円 ~ 500万円
