ナノインコーター(NIC-1510)タンク入替可+超音波洗浄槽付
φ250～φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能
本装置は、φ250～φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能な装置です。またそれぞれのタンクは交換が簡易で、多くの異なるコート液を塗布及び評価することに適しています。1槽目に超音波洗浄槽を設置し、洗浄、コート、リンスなどの運転も可能としました。
- 企業：株式会社ＳＤＩ 京都本社
- 価格：500万円 ~ 1000万円
ナノインコータ×株式会社ＳＤＩ - メーカー・企業と製品の一覧
ナノインコータの製品一覧
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ナノインコーター(離型剤塗布装置) NIC-1103
6〜8インチ基板対応、汎用性に優れた中型ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ストローク250mm、対象サイズ6〜8インチに対応するモデルです。中型基板を均一にコーティング可能で、小ロット生産や試作工程に活用できます。高品質な膜形成を実現し、再現性の高い処理が可能です。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社ＳＤＩ 京都本社
- 価格：100万円 ~ 500万円
ロール材用ナノインコーター(離型剤塗布装置:NIC-1308))
ロール材に離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ロール表面に離型剤を定着させる塗布装置
全長700mm、重量7kgまでのロール材に対応。連続処理による均一な離型剤塗布を可能とし、生産性と精度を両立します。研究から小ロット生産まで幅広い用途に対応する装置です。
- 企業：株式会社ＳＤＩ 京都本社
- 価格：500万円 ~ 1000万円
大サイズ用ナノインコーター(離型剤塗布装置):NIC-2003
最大W1500×H1200×t10mmまでの石英ガラスに対応
本装置は、2槽式(離型剤塗布とリンス)離型剤塗布装置です。それぞれに循環機能があり、最大45kg/枚の大サイズ石英ガラスの離型剤塗布を行うことができます。 W1500×H1200mm、t10までの試料に対応。大型基板や構造体に対して均一な離型剤塗布を可能にする装置です。堅牢設計と高精度制御を兼ね備えています。
- 企業：株式会社ＳＤＩ 京都本社
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
