風量が、10、20、30㎥/minの3タイプがあり、半導体・精密・液晶、その他産業用製造装置の局所（スポット）に精
オプションとして ◆吐出口増設（ダクト接続用単管４ヶ所まで増設可、ダンパー付き） ◆リターンダクト接続用単管増設 ◆空冷式冷凍機（屋外設置型）…冷媒配管工事・電気工事が必要（設置場所により見積り）
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基本情報
●時代は今、特定パートのクリーン化に大きく動いています。 ●半導体・精密・液晶、その他産業用製造装置の局所（スポット）に精密温度クリーンエアを供給します。 ●風量は、10/20/30ｍ3/minを用意しています。 ●兄弟機種として高精度湿度制御ドライエアタイプも用意しています。
価格情報
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納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
スパッタ装置・三次元測定器・各種ディスク（CD-R・DVD-R・DVD-RW・DVD-RAM）のコーティングおよび張り合せ装置・バイオ／医薬品の研究開発装置・低湿印刷工程
企業情報
登録商標である『サーマルクリーン』技術を特長として精密温湿度制御を伴うクリーンエア空間を作る装置を製造する。クリーンルームの施工も日本では先駆けの１社である。冷熱空調機器の製作から工事まで一貫して行う。東証1部上場の株式会社チノーの100%子会社である。