UVLEDから先端パワーデバイスまで対応、ＰＶＤによるシンプルプロセスで窒化膜結晶成長
紫外線LED量産に貢献しているPVD（スパッタリング）による結晶性窒化膜形成装置。 PVD（スパッタリング）によりCVD法に匹敵する結晶性薄膜を成膜 シンプル・安全、イージーハンドリング。より簡易な装置管理と運用により最新窒化物半導体プロセスを推進 R&Dから本格量産用途まで幅広い用途に対応したハードと先進のプロセス性能 窒化物半導体のトレンドを更新する最新型結晶成膜装置
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基本情報
8インチウェハ対応のロードロックタイプの装置が基本標準型 生産量、プロセスによりカスタマイズ可能 クラスター形マルチチャンバタイプまで対応
価格情報
応相談
納期
※応相談
用途／実績例
紫外線LED用テンプレート パワーデバイスおよび窒化物・化合物半導体用テンプレート 高周波デバイス用基板・テンプレート
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| STL６０００シリーズ |
企業情報
神港精機は技術主導のメーカーとして、特に真空機器分野において蓄積した数々のノウハウを生かし、ユーザーニーズに沿った革新的な製品を送り出しています。 又、近年はエレクトロニクス・新素材などの最先端分野へ挑戦し特長ある技術の高度化と有機的結合により、真に価値のあるハードウェアとソフトウェアの開発を目指し取り組んでいます。
