テンプレート製造用結晶成膜装置
UVLEDから先端パワーデバイスまで対応、ＰＶＤによるシンプルプロセスで窒化膜結晶成長
紫外線LED量産に貢献しているPVD（スパッタリング）による結晶性窒化膜形成装置。 PVD（スパッタリング）によりCVD法に匹敵する結晶性薄膜を成膜 シンプル・安全、イージーハンドリング。より簡易な装置管理と運用により最新窒化物半導体プロセスを推進 R&Dから本格量産用途まで幅広い用途に対応したハードと先進のプロセス性能 窒化物半導体のトレンドを更新する最新型結晶成膜装置
- 企業：神港精機株式会社 東京支店
- 価格：応相談
