手動オーバーライドハンドルを備えた空圧作動メタルダイアフラムバルブ
Hybrid Proシリーズは、高い信頼性と長寿命のサイクル性能を備えたウルトラクリーンバルブです。 長寿命の開閉サイクルと安定した流量係数により、半導体ウェーハ製造プロセスにおける超高純度用途に最適です。 内蔵された手動オーバーライドハンドルにより安全な操作が保証され、危険な状況を防止します。 特長と利点： • 長寿命：ダウンタイムとメンテナンスコストを削減 • 安定した流量係数：バルブの寿命まで安定性を維持 • 手動安全機構：意図しない操作を防止する強化された機構（バルブはハンドルの最初の20°の回転では開閉に影響せず、ハンドル操作ミスによる誤開閉を防ぎます） • 手動オーバーライドハンドル付き空圧作動バルブ：2台のバルブを1台で代用しコスト削減 信頼性： • 空気圧操作で1,000万回のサイクルに対して検証済み • 手動オーバーライド操作で1万回のサイクルに対して検証済み
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基本情報
• MAWP（最大許容使用圧力）: 150 psi • MAWT（最大許容使用温度）: 60°C • 流量係数: Cv 0.3 • シート材質: PCTFE • リークレート: • インボード: ≤ 3x10-11 atm cc He/sec • シート間: ≤ 1x10-9 atm cc He/sec • 空圧作動: ハイブリッド NC（手動オーバーライドハンドル付き通常閉） • 高品質UHPバルブボディ構造:ステンレス鋼 316L VAR電解研磨（Ra 5μin仕上げ） • 表面実装型1.125インチ Cシールタイプ
価格帯
納期
用途／実績例
• プロセスツール上のガスボックス • ガス供給システム • ツール内設置モジュール • 容器およびバブラー
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企業情報
イスラエルに本社を置くハムレット（Ham-Let）は、米国、カナダ、イギリス、ドイツ、フランス、オランダ、ロシア、シンガポール、そして日本に現地法人を置き、継手、プロセスバルブ、マニホールド、ウルトラクリーンダイヤフラムバルブ及び高純度継手、圧力計、フレキシブルホース、フィルタ、リリーフバルブ、サンプリングシリンダ、フランジ等を商材とし、エネルギー、オイル、ガス、タービン、化学、石油化学、天然ガス、エレクトロニクス、分析など様々な産業を需要分野としている。 世界各地で積極的にＭ＆Ａも推進して従業員数を増やし、事業を拡大しているグローバル企業である。 日本のハムレット・モトヤマ・ジャパンは、直販と全国に構築している約60ヵ所の代理店・販売店経由でエレクトロニクス分野をメインに事業を展開。同社のエレクトロニクス分野向けの主力製品であるウルトラクリーンダイヤフラムバルブ及び高純度継手製品は、イスラエル本社工場から週二回の航空便により供給量と在庫数を確保し、東京の物流センターより毎日全国へ出荷している。近年ではグループ会社のリソースを活かし一般産業及びプラントエンジニアリングの分野により一層力を入れている。
