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最終更新日:2023年12月28日

東芝ナノアナリシス株式会社
東芝ナノアナリシス株式会社
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高分解能・高コントラストな観察を実現!非破壊で3次元観察することが可能

「MEMS」には、立体的で可動部を有するMEMS構造体が中空で 封止されています。 この構造をあるがままに観察するためには開封などの加工を行わず 観察することが必要です。 3次元X線顕微鏡(X線CT)は、非破壊で3次元観察でき、できばえ解析・ 不具合解析・リバースエンジニアリングに有効です。 【3次元X線顕微鏡 特長】 ■対象物の内部を非破壊で3次元観察することが可能 ■試料を透過したX線を光学レンズで拡大するため、高分解能・  高コントラストな観察が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    非破壊検査
MEMSデバイスの3次元構造観察1.PNG

MEMSデバイスの3次元構造観察

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当社は、受託分析サービスを展開している会社です。 2002年8月の創立以来、信頼性のある分析・解析技術と最新鋭の設備を駆使し、 半導体・液晶・金属・新素材を中核とした幅広いマーケットに最適な ナノレベルの微細加工、分析、解析、信頼性評価、環境安全化学分析、 サービス・ソリューションを提供しております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

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