非線形運動をなくし、安定な制御を可能にするマイクロスキャナ用MEMSミラー
近年、LiDAR(Light Detection and Ranging) 等の光センサーシステムの小型化等のため、MEMS走査ミラーを用いたマイクロスキャナの開発が激化している。MEMSミラーデバイスの一種である全方位走査ミラーは、自動運転車に搭載するLiDAR用途への応用が期待され、研究が行われている。その実現形態の一つとしては、互いに直交する2つの軸を有する「ジンバル」の技術を利用してミラー部を回転させるものがある。しかしながら、互いに直交する2つの軸周りの回転が互いに干渉し合い、非線形の動きが発生するため、ミラー部の動きを安定して制御することができないという課題があった。本発明によって、ミラー部の動きを安定して制御することができる全方位走査ミラーを提供することが可能となった。本発明の全方位走査ミラーは、ミラー部と回転軸と支持部を有し、ミラー部の安定を制御するために慣性モーメントテンソルの垂直成分が一定範囲内にあることを特徴とする。
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