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『GaN 自立型基板成長用HVPE装置』は、当社独自に開発した 基板回転機構を用いた装置になります。 ヒータは割型12ゾーン制御。マイクロロジック社製の トータルコントロールシステムを採用しています。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【装置構成】 ■3インチ×3枚(MAX) ■割型12ゾーン制御 ■N2雰囲気ローディングBOX ■基板回転機構 ■自動開閉移動ヒータ ■トータルコントロールシステム付 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【関連製作品】 ■アンモニア除害装置 ■シリンダーキャビネット ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、半導体及びIT関連装置等のメンテナンス、 リファビッシュ(整備・改造・再生)、設計、製作、組立、 据付、調整により装置エンジニアリングをサポートしています。 私たちが造る部品や装置で、お客様に喜んで頂くことを第一と考え、 日々、誠心誠意取り組んでおります。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。