広範囲の分析が可能！EPMAのガイドネットマップ法を用いた分析例をご紹介
EPMAは特長の一つに、ガイドネットマップ法があります。 SEM-EDXでは測定範囲が狭く、湾曲試料では面分析が正しく測定できないことが ありますが、EPMAのガイドネットマップ法を用いることで、広範囲の分析が 可能になります。 隣り合わせの連続した領域を自動的に測定し、⼀括して表示するための手法で、 高低差が不均一な面に対して測定を行ったり、大きな面の測定を行うときに使用します。 【ガイドネットマップ法の特長】 ■隣り合わせの連続した領域を自動的に測定し、 ⼀括して表示するための手法 ■高低差が不均⼀な面に対して測定を行ったり、 大きな面の測定を行うときに使用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【分析例】 ＜錠剤表面の元素分析＞ ■2×2や3×3など任意に測定範囲を分割し、測定することによって、広範囲の測定が可能になる ■高低差があるため、SEM-EDXでの測定は局所的になってしまい、錠剤表面の元素分布の把握が困難 ＜面分析（3×3mm範囲でSiの面分析）＞ ■通常測定では試料中央の凸部にフォーカスが合わず正しい分布が得られない ■ガイドネットマップ法を用いることで、高低差の影響を受けることなく正しい分布を得ることができた ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
アイテスは、日本アイ・ビー・エム野洲事業所の品質保証部門を母体として１９９３年に設立されました。 日本アイ・ビー・エム野洲事業所での最先端電子部品の不良解析・信頼性保証で培った技術力を基盤にして、半導体、ディスプレイ、有機EL、太陽電池、電子部品の開発・製造を支える様々な商品、サービスを国内、海外のお客様へ提供してまいりました。
