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粗大粒子カウンター『RACCAR』

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最終更新日:2021年08月18日

シーズシー株式会社
シーズシー株式会社
  • 公式サイト

パーティクルカウンターでは分からない粗大粒子を分級・カウントします!

『RACCAR』は、サンプル板として4インチシリコンウエハを使用し、 サンプル板上の粗大粒子の分級とカウントを行う装置です。 結果は付属のパソコンに表示・保存することができます。 ウエハ上の落下塵は画像処理により、分級・色分けされ、表示されるので、 一目で落下塵の状況が分かります。 【特長】 ■分級・色分けされ、表示されるので、一目で落下塵の状況が分かる ■画像データ(jpc, bmp, tiff 又は png形式)と分級結果(csv形式)を  パソコンに保存することが可能 ■測定時間は平均約7秒 ■シリコンウエハはクリーンナップすれば何度も使用できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    クリーンルーム
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粗大粒子カウンター『RACCAR』

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  • 関連リンク - https://www.csc-biz.com/csc%20bland/slice/slice.ht…

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基本情報

【仕様】 ■型式:CS-RA004 ■粒径区別:30μm以上、50μm以上、100μm以上、150μm以上、200μm以上 ■最小可測粒径:30μm ■試料採取板:4インチシリコンウエハ(別売) ■検出範囲:φ80mm(ウエハ中心から) ■外径寸法:490mm(H)×420mm(L)×275mm(W) ■重量:約21kg ■測定ソフト:専用ソフト付属 ■データ:分級結果をjpg又はbmp、csv形式で保存 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【用途】 ■クリーンルーム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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当社は、異物対策問題を考え、クリーン技術を推奨するための 装置、ツール、備品を開発し、販売しております。 クリーンルームに関する機器・備品・サービスの情報提供や卸販売などを 展開しておりますので、ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

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