工場の設備増設に伴う純水圧不足や、その変動を、純水昇圧ユニットが解決！ 安定した供給を実現します。
純水昇圧ユニットの導入により、 純水供給圧の不足や変動の問題を解消！安定したプロセス処理を行うことができます。 純水の安定供給は、デバイス生産において、品質と歩留まりに影響する重要な要素です。 この昇圧機能は、帯電防止ユニットや純水加温ユニットへも組み込み可能。設置スペースを縮小できます。 【特長】 ■常時監視によるフィードバック機能により、安定した圧力に制御。 ■ベアリングのない磁気浮上遠心型のレビトロニクスポンプの採用で、 高い耐久性能を実現。 ■脈動のない安定した供給を実現。 ■幅広い供給流量に対応する製品モデルをご用意。 ■供給先装置の通信仕様に対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(一部抜粋)】 ■装置寸法：500mm(幅)×690mm(奥)×1,470mm(高） ■装置材質：PVC ■最大使用圧力：0.5MPa ■制御/操作方式：PLC制御方式/タッチパネル ■非常停止ボタン：設置 ■漏液検知：リークセンサー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 工場内に複数の装置があり同時に純水を使用すると互いに干渉し、 供給量と供給圧が変動します。その変動を抑えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社SCREEN SPE サービスは、 株式会社SCREENホールディングスのグループ会社として2003年に設立。 半導体製造装置のセットアップ・メンテナンス・改造サービスから、 オリジナル周辺機器の開発・販売に至る幅広い技術サービスをご提供する プロフェッショナル技術集団です。私たちのポリシーは「顧客第一」。 先進の技術力とノウハウを通じて、お客さまの生産ラインの安定稼働に貢献します。
