薄板ガラス材を、超音波洗浄、リンス、温風乾燥させる洗浄装置です。 ・クリーンルーム対応装置。
本装置は、薄板ガラス材に超音波洗浄、リンス、温風乾燥させる洗浄装置です。 ・クリーンルーム対応装置。 ストローク680mm、W515×H404mm、t1.0〜1.4mm基板に対応。ガラス材専用設計で、超音波により微細な汚れや残留物を効率的に除去します。コーティング前処理に最適な高精度洗浄を提供します。
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基本情報
【主仕様】 1.ストローク: 680mm 2.対象サイズ: W:515×H:404mm t1.0～1.4 3.対象材質: ガラス板 4.ディップ速度: 0.1～60mm/sec 5.塗布液循環部: 有 6.塗布液温度管理: 無 7.フィルターメッシュ: 有 8.乾燥部: 有 9.乾燥温度: 120℃ 10.ヘパユニット: 有 11.装置サイズ(概寸): W:3644×D:1932×H:2537mm
価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
用途／実績例
本装置は、薄板ガラス材に超音波洗浄、リンス、温風乾燥させる洗浄装置です。 ・クリーンルーム対応装置。 光学ガラスやディスプレイ用基板の前処理工程に導入。研究用途では透明材料の表面処理実験に利用されています。
ラインアップ（10）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| HC-1004 | 硬質コート材を均一に塗布、耐久性に優れた膜形成を実現 |
| FA-0406 | 全自動制御で大面積基板に精密なレジスト塗布を実現 |
| SA-1210 | プリント基板専用設計で均一な保護膜を形成 |
| SA-1407-S1 | 2インチウェハー対応、精密なフォトリソ工程を支援 |
| SA-1503-S1 | 操作性と精度を両立、汎用性に優れたセミオート装置 |
| SA-1509UL | 旋回機構搭載で複雑形状も均一に処理可能なUL認定装置 |
| SA-1712 | 液使用量を最小限に抑えつつ高精度コーティングを実現 |
| SA-1801 | 超音波洗浄でガラス材の表面を清浄化し高精度処理を実現 |
| SA-2203 | 4インチウェハー対応、高精度フォトリソ用ディップコーター |
| SA-2210 | 1000mm/secの高速処理で多層膜形成を効率化する量産装置 |
カタログ（71）
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企業情報
【経営理念】 顧客満足度NO1企業であれ 【モットー】 人は一瞬で変われる! 全ては今から!