2インチウェハー対応、精密なフォトリソ工程を支援
本装置は、複数の2inchウエハー、金属板、ガラス等に同時にフォトリソコート液の薄膜ディップコーティングを目的とした、DIP/乾燥の工程を自動的に行うディップコーターです。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を応用したディップコーターです。 ストローク290mm、2インチウェハーに対応。均一なレジスト膜形成を可能にし、微細加工のフォトリソグラフィ工程を支援します。小規模研究から試作工程に最適なモデルです。
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基本情報
【主仕様】 1ストローク290mm 2対象サイズ3.5inchウエハー 3対象材質ウエハー、金属、ガラス等 4ディップ速度0.1mm/secから60mm/sec 5塗布液循環部有 6塗布液温度管理無 7フィルターメッシュ有 8乾燥部有 9乾燥温度100℃ 10ヘパユニット有 11装置サイズ(概寸)W:1800×D:1100×H:1850mm
価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
用途／実績例
複数の2inchウエハー、金属板、ガラス等に同時にフォトリソコート液の薄膜ディップコーティング。 研究機関や大学での半導体微細加工実験や、小規模試作ラインでのレジスト塗布に利用されています。
ラインアップ（10）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| HC-1004 | 硬質コート材を均一に塗布、耐久性に優れた膜形成を実現 |
| FA-0406 | 全自動制御で大面積基板に精密なレジスト塗布を実現 |
| SA-1210 | プリント基板専用設計で均一な保護膜を形成 |
| SA-1407-S1 | 2インチウェハー対応、精密なフォトリソ工程を支援 |
| SA-1503-S1 | 操作性と精度を両立、汎用性に優れたセミオート装置 |
| SA-1509UL | 旋回機構搭載で複雑形状も均一に処理可能なUL認定装置 |
| SA-1712 | 液使用量を最小限に抑えつつ高精度コーティングを実現 |
| SA-1801 | 超音波洗浄でガラス材の表面を清浄化し高精度処理を実現 |
| SA-2203 | 4インチウェハー対応、高精度フォトリソ用ディップコーター |
| SA-2210 | 1000mm/secの高速処理で多層膜形成を効率化する量産装置 |
カタログ（71）
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企業情報
【経営理念】 顧客満足度NO1企業であれ 【モットー】 人は一瞬で変われる! 全ては今から!