2~12インチウエハー平置き搬送用 空気で包んで優しく運びます。
ベルヌーイチャックは、ベルヌーイの原理を利用し空気を噴出することで、より強力な吸引力を発生します。 搬送物はベルヌーイチャックの表面端の部分を点接触し、回転することも無く、ウエハー中心部分を非接触状態で安定した保持力により搬送できます。 本体部一つで各ウエハーサイズに対応するよう設計しております。 【特徴】 ○持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択 ○対応インチのガイドリングを変えれば2~12インチまで使用可能 ○本体部導電性ナイロン樹脂の採用により軽量化 ○両面にパターン印刷があり、50µmの薄く取扱いの難しいウエハーに対応 ○角型など対象物に合せた特注設計品にも対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択し、 対応インチのガイドリングを変えれば2~12インチまで使用可能 (使用角度は固定角度で、使用角度の変更は本体部を変えないと変更不可) ○ガイドストッパーに緩やかなテーパーをもたせているので、 ウエハー縁を点で接触 ○ESD対策用透明アクリル樹脂使用のガイドリングは、 目視による位置決めや吸引状態の確認が出来る 【オプション】 ○専用スタンド →6インチ~2インチのベルヌーイチャック用スタンド:コードNo.678 →12インチ/8インチのベルヌーイチャック用スタンド:コードNo.699 ○プロトスキャリア用 ○ソーラーパネル用 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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大日商事株式会社は1959年(昭和34年)輸入商社として創業以来、 電子(半導体・液晶)業界向けに、温度センサー、プラスチック製品、 消耗部材、装置等の商品を提供してまいりました。 1997年にはプラスチック成形工場を山形県米沢市に立ち上げ、商社機能と メーカー機能を合わせ持った企業形態を確立しました。 その根底には、お客様の要望や課題解決にスピーディーに応えたいという 私たちの「チャレンジ精神」、そして「ものづくりへのこだわり」があります。 技術革新の激しい電子業界で生き抜くため、常に市場の要請を先取りし、 優れた技術と質の高い製品を提供するために地道に且つ、ひたむきに努力し、 社会から信頼される企業を目指してまいります。