6インチと8インチのウエハーに対応！平行平板方式のプラズマ処理装置
WLP600Sは、平行平板方式のプラズマ処理装置です。 6インチと8インチのウエハーに対応し、低価格・省スペースを実現しました。 コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの2種類のプラズマ方式を切り替えられ、ポリイミド系樹脂のエッチングやフォトレジストの表面改質など多様な用途にご利用頂けます。 【特徴】 ○容易なプラズマモード切替 ○高速追従性 ○省フットプリント ○多種多様なプロセスに対応 ○多種多様なカスタマイズ性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○処理方式：平行平板プラズマ励起方式（DP／RIE切替可） ○処理室：AL製（シングルチャンバー） ○RF電源：600Ｗ 13.56MHz オートチューニング ○処理ガス →O2：1000SCCM →CF4：500SCCM →1系統増設可（オプション） ○パージガス：N2 ○スループット：3000枚／400時間（ポリイミド膜1μｍエッチング時） ○処理ステップ：3ステップ、10レシピ ○ウエハーサイズ：6インチ、8インチ兼用 ○ウエハー搬送方式 →垂直動作カセットエレベータ（6インチ、8インチ兼用） →水平・旋回動作1フィンガー吸着方式クリーンロボット ○本体寸法：W600×D1500×H1850 ○本体重量：650kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
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