ウエハー洗浄装置。ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適。超音波洗浄で高精度に基板や試料をクリーニング可能
本装置は、ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適の装置です。Max8inchのウエハー5枚を同時に設定されたレシピパラメータに従い、自動で各工程を処理する為の自動化装置です。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型洗浄装置です。 ストローク350mm、8inch基板に対応する超音波洗浄装置です。汚染や残留物を効率的に除去し、コーティング前処理に最適。高い洗浄力と安定性を兼ね備えています。 詳しくはお問い合わせ下さい。
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基本情報
【特徴】 ○ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適の装置 ○Max8inchのウエハー5枚を同時に設定されたレシピパラメータに従い、 自動で各工程を処理する為の自動化装置 ○SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映した ディップコーター型洗浄装置 【仕様】 ○ストローク：350mm ○対象サイズ：８ｉｎｃｈ ○対象材質：ウエハー、ガラス ○ディップ速度：0.1mm/secから40mm/sec ○塗布液循環部：有 ○塗布液温度管理：無 ○フィルターメッシュ：無（オプション可能） ○乾燥部：有 ○乾燥温度：無（オプション可能） ○ヘパユニット：有 ○装置サイズ(概寸)：W:1850×D:900×H:1880mm ●詳しくはお問い合わせ下さい。
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納期
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用途／実績例
【用途】 ○Max8inchのウエハー5枚同時か、1枚ずつ処理 半導体基板、光学部材、バイオチップの前処理工程に導入。研究機関や生産現場で幅広い実績があります。 ●詳しくはお問い合わせ下さい。
ラインアップ（18）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| NIC-1106 | 小型基板向け、高精度で安定した離型剤塗布を実現する卓上モデル |
| NIC-1103 | 6〜8インチ基板対応、汎用性に優れた中型ナノインコーター |
| NIC-0809 | φ200mm基板に最適、幅広い研究開発に対応するナノインコーター |
| NIC-1109G | 不活性ガス環境での高精度コーティングを実現するBOX一体型 |
| NIC-1208 | 600mm角基板対応、大型試料の均一塗布を実現するハイパワーモデル |
| NIC-1410-S1 | 厚み1.5mmまで対応、小型立方体試料用高精度ディップコーター |
| NIC-1308 | ロール材に対応、連続コーティング可能な専用ナノインコーター |
| DT-1104 | ディスク媒体に均一な塗布を実現する専用装置 |
| MD-1501-S1 | 循環機構搭載で液安定性を高めた高耐薬品性ディップコート装置 |
| SA-1109 | 超音波洗浄で高精度に基板や試料をクリーニング可能 |
| SA-1202 | 温水乾燥を組み合わせた効率的な洗浄・乾燥一体型装置 |
| NIC-1510 | タンク入替と洗浄を両立、多用途に対応する高機能モデル |
| MD-1802 | 8槽構成で多層膜形成や連続処理を可能にする高効率モデル |
| LD-1811 | 窒素パージで酸化防止、安定した膜形成を実現するリニア型 |
| NIC-2003 | 最大1.3mストローク対応、大型基板処理に最適なモデル |
| DT-1812 | 連続工程処理に最適、8槽式で多品種試作に柔軟対応 |
| DT-2002 | 円筒形材料に特化、φ20〜60mm対応の専用ディップコーター |
| NIC-2409 | Φ200〜700mmスリーブ対応、大型円筒材料用ナノインコーター |
カタログ（71）
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企業情報
【経営理念】 顧客満足度NO1企業であれ 【モットー】 人は一瞬で変われる! 全ては今から!