タニムラ　クリーン導電性ウエハー用ケース/樹脂容器 MK-WBR

基本情報

■導電性カーボンを樹脂に添加し、安定した導電性を実現。 ■表面抵抗値が10の8乗 [Ω]以下と非常に優れています。 ■蓋を閉めることで完全密封が可能です。（6"汎用を除く） ■約10度回してフタを閉じ、ロックが可能。（8"および12"のみ） ■凸と凹が重なり、安定した段積みが可能。(12"を除く)

価格帯

1万円 ~ 10万円

納期

~ 1週間

用途／実績例

●クリーンルームで使用するウエハー搬送用ケースとして。 ●ESD静電気対策が必要なエリアで使用するとき。 ●密封性が必要なプラスチック容器として。

詳細情報

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  5インチウエハー用 【仕様】 　・内径： φ128×12mm （外形：176×176×H24mm） 　・重量： 170ｇ （フタ込み） 【特徴】 　・６”スリムケースに装着することで５インチウエハーに対応。 　・簡単に装着できます。（６”スリムケース専用）

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  6インチウエハー用（スリム） 仕様】 　・内径： φ152×12mm （外形：176×176×H24mm） 　・重量： 150ｇ 【特徴】 　・軽量かつ耐衝撃性に優れ、落下などからウエハーを保護します。 　・５”変換アダプターを使用して５インチウエハーに対応。 　・テープなどにより完全密閉が可能です。 　・安定した段積みが可能です。

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  ６インチウエハー用（汎用） 【仕様】 　・内径： φ152×30mm（外形：φ165×H40mm） 　・重量： 160ｇ 【特徴】 　・軽量な円筒型ケースです。 　・容器のリブ（壁）に開口部があり、ウエハーの出し入れが可能。 　・安定した段積みが可能です。

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