ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました！
精密ステージ 高応答XYステージ EXは、クロスＬＭガイドＣＳＲ形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルＸＹステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました。 詳しくはお問い合わせください。
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基本情報
【特長】 ○シンプルなXY構造 →案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。 ○すぐれた応答性 →クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータとも固定する特殊な構造を採用しました。 これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を実現しました。 ○高剛性XYステージ →XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、 ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。 ○ガタのない連結機構 →X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化し、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。 トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。 ●詳しくはお問い合わせください。
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当社は、1987年の創業以来お客様のニーズに応じた各種FA機器を提供し、 今では直動システムの世界トップメーカーであるTHKのグループの一員として日本全国に18カ所の販売拠点を構え、お客様のご要望に迅速かつ的確にお応えしています。
