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パッケージ内包ガス導入機構搭載型 TDS
本装置は、TDS1200_2のメインチャンバに、パッケージを破砕する為のチャンバ(破砕チャンバ)を繋げ、破砕チャンバ内で割った内包ガスを分析する装置となります。