ナノ粒子生成装置

マグネトロンスパッタリングにより発生した蒸気が、高圧低温エリアを通過することによりナノ粒子（ナノクラスター）が成長します。マグネトロンに与えるパワーやガス流量などのパラメーターをコントロールすることで、ナノ粒子ビームのサイズ分布を制御することができます。 Au、Ag、Cu、Pt、Ir、Ni、Ti、Zrを含む、金属や導電性材料からナノ粒子を生成できます。 ドライプロセスであることから、高純度（99.999%）のナノ粒子を高い再現性で生成することが可能です。