減圧乾燥装置「VD-400」
●２段階排気により風紋や発泡を抑えた乾燥を行います
「VD-400」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を減圧乾燥する装置です。 バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能です。 【主な仕様】 〇チャンバー ： 外寸法 400mm x 400mm 高さ103mm（蓋閉時） 内寸法 350mm x 350mm 高さ 30mm 〇真空系 ： 到達真空度 1Ｐa以下（サンプル無） ドライポンプ 250L/min 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社イーエッチシー
- 価格：応相談
