N2パージ仕様 リニアディップコーター(LD-1811)
窒素パージで酸化防止、安定した膜形成を実現するリニア型
本装置は、40mm角の塗布物を10枚同時にディップする装置です。コート液表層部及び装置内にN2もしくはO2のパージ機構を有し、速度制御方法は通常ディップとリニアそれぞれのモードり切替可能です。またレシピ数は合計100、クリーンルーム、安全増し防爆対応装置となります。 ストローク100mm、W40×H40mm t4.0対応。窒素パージ機構を備えたリニアディップコーターで、酸化や湿度の影響を受けやすい試料を安定して処理可能。研究から試作まで幅広く活用されます。
- 企業:株式会社SDI 京都本社
- 価格:500万円 ~ 1000万円