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ハードディスク表面のスクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出
ハードディスク表面に高出力レーザーを照射することで、スクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出し、欠陥種類ごとに分類、結果表示します。 複数レーザーの同時照射によりスクラッチを高感度で検出するだけでなく、欠陥の凹凸形状を判定します。 特長 ・高出力レーザーによる微小欠陥の検出 ・高いスクラッチ検出能力 ・欠陥の凹凸を弁別 ・全数オートフォーカス ・優れたコストパフォーマンス ・カスタマイズ対応 ・1カセット自動検査対応 ・透明ガラス基板対応
ガラス基板、メディア表面、エッジ部のチッピング、汚れ等を、高速・高精度に検出
ＣＣＤカメラで取り込んだ画像解析により、ガラス基板、メディアの表面、エッジ部のチッピング、汚れ等を、高速・高精度に検出する量産ライン検査装置です。 合否判定に基づいたディスクの自動振り分け、検査結果は上位システムに通信し管理することが可能。 ・スループット ～800PPH（検査条件による） ・フットプリント 本体： (W) 1380 × (D) 1700 ×(H) 2100 mm (W) 1810:カセット受渡部を含む ＰＣラック： (W) 570 × (D) 630 × (H) 1850 mm ・クリーン度 クラス10（＠0.1μm） ・自動搬送システムに対応 検査仕様 ・対応ディスク １．８９”，２．５”，３．５” ・検査領域 内周端面を除く全域（または指定領域） ・センサ素子サイズ ７ｕｍ ・ピクセル分解能 検査領域（レンズ倍率に依存） ・レンズ倍率 １ｘ～３ｘ（検査内容に合わせて設計） ・設計事例 ２．５”ディスク、８００ＰＰＨ 検査領域 内周 ： Ｒ１０．０ ～ Ｒ１５．０（２ｘ） 外周 ： Ｒ３１．０ ～ Ｒ３２．５（３ｘ）
透明ウェーハも高速検査！高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出！
『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、 最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。 高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出！ ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます！ 【その他の特長】 ■高スループット（1カセット25枚を、約40分で検査） ■欠陥の凹凸を弁別 ■全数オートフォーカス ■カスタマイズ対応 ■1カセット自動検査対応 ■欠陥に対する高精度マーキング（オプション） ■レーザー顕微鏡による欠陥レビュー（オプション）
