欠陥検査装置×株式会社クボタ計装 - 企業1社の製品一覧

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ハードディスク表面欠陥検査装置 Laser Explorer

ハードディスク表面のスクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出

ハードディスク表面に高出力レーザーを照射することで、スクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出し、欠陥種類ごとに分類、結果表示します。 複数レーザーの同時照射によりスクラッチを高感度で検出するだけでなく、欠陥の凹凸形状を判定します。 特長 ・高出力レーザーによる微小欠陥の検出 ・高いスクラッチ検出能力 ・欠陥の凹凸を弁別 ・全数オートフォーカス ・優れたコストパフォーマンス ・カスタマイズ対応 ・1カセット自動検査対応 ・透明ガラス基板対応

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ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

透明ウェーハも高速検査!高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出!

『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、 最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。 高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出! ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます! 【その他の特長】 ■高スループット(1カセット25枚を、約40分で検査) ■欠陥の凹凸を弁別 ■全数オートフォーカス ■カスタマイズ対応 ■1カセット自動検査対応 ■欠陥に対する高精度マーキング(オプション) ■レーザー顕微鏡による欠陥レビュー(オプション)

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