半導体製造プロセスにおける圧力計測機器<薬液・超純水>
薬液・超純水計測に適応した、接液部構造!薬液・洗浄水などの計測の用途事例
薬液・洗浄水などの計測における、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 薬液タンクのレベル計測から、薬液の吐出圧監視、 ライン圧監視などを実行。 洗浄工程における薬液・超純水の効率的な利用を 支えます。 【ウェットプロセス圧力計測分野】 ■超純水・高機能水 ■フッ酸・塩酸 ■スラリー ■レジスト液 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:長野計器株式会社
- 価格:応相談