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極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測！全レンジ50kPaの高耐圧を実現したセンサ
半導体製造プロセスの空気調和システムにおける、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測でき、全レンジ50kPaの 高耐圧を実現した、シリコンキャパシタンスセンサが利用可能。 微差圧計測のIO-Link対応を開始し、空調システムの進化に対応します。 【空気調和システム圧力計測分野】 ■ドライエアー ■N2ガス ■排ガス ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ガス供給系に適した「高度な圧力計測技術」で新たな価値を創出します！
各種プロセスガスの計測における、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 半導体ガス供給系に適応する溶接構造と特殊表面処理技術により、 測定ガスの滞留を最小限に抑制。 ガス供給系に適した「高度な圧力計測技術」で 新たな価値を創出します。 【半導体ガス圧力計測分野】 ■高純度ガス ■半導体材料ガス ■パージ用ガス ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薬液・超純水計測に適応した、接液部構造！薬液・洗浄水などの計測の用途事例
薬液・洗浄水などの計測における、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 薬液タンクのレベル計測から、薬液の吐出圧監視、 ライン圧監視などを実行。 洗浄工程における薬液・超純水の効率的な利用を 支えます。 【ウェットプロセス圧力計測分野】 ■超純水・高機能水 ■フッ酸・塩酸 ■スラリー ■レジスト液 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
