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【技術資料】真空紫外光照射によるゾル-ゲル薄膜の改質

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最終更新日:2022年10月13日

株式会社クォークテクノロジー
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紫外・可視光透過スペクトルを分光光度計により測定!ゾル-ゲル薄膜の改質についてご紹介

均一な組成をもつコーティング膜を得る方法として有力なゾル-ゲル法は、 ゲル膜からの水分の除去や有機成分の分解には、通常、数百℃の熱処理を 要するため耐熱温度の低いプラスチック上に強固な膜を得るのは難しいです。 そこで、真空紫外(VUV)光を用いた光量子(フォトン)プロセスは、照射に よる熱過程をともなわずに、光子の作用のみで原子の結合を切断できるため、 薄膜の改質にも応用できると考えられます。 当資料では、ゾル-ゲル法により調整した酸化ニッケル薄膜に、実用的な 光源として開発されてきたエキシマランプを用いてVUV光を照射したときの 状態変化について紹介しております。 【掲載内容】 ■はじめに ■実験 ■結果と考察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【技術資料】真空紫外光照射によるゾル-ゲル薄膜の改質

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株式会社クォークテクノロジーは最先端の光応用技術を利用した各種産業用設備機器の製造販売を行っております。 真空紫外及びUV-LED光源の開発により、半導体製造技術を始め、液晶、PDPからフィルム、ELなどの新規ディスプレイ、各種電子材料及び電子機器の製造技術に導入させていただいております。 そのほか、医療や社会的課題であります廃棄物・環境対策機器の需要に対しても研究開発を計画しております。 あらゆる物質は原子、核子そして「クォーク」から成り立っております。 私たちクォークテクノロジーは、光を研究し産業応用技術へのチャレンジを続けてまいります。

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