省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【ラインナップ】 ○KTS015 →最大排気速度 280 L/min →到達圧力 ≦3 Pa ○KTS030 →最大排気速度 500 L/min →到達圧力 ≦3 Pa ○KTS060 →最大排気速度 1000 L/min →到達圧力 ≦3 Pa ○KTS300 →最大排気速度 5000 L/min →到達圧力 ≦0.5 Pa ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○分析装置、理化学実験装置 ○真空乾燥装置 ○真空脱気・脱泡 ○真空冷却 ○ガス循環・回収装置 ○ガス置換 ○Heリークディテクタ ○電子ビーム加工機 ○真空吸着搬送 ○真空包装機 ○プラズマクリーニング装置 ○真空成形装置 ○蒸着装置、スパッタリング装置 ○ロードロック排気用 ○クライオポンプの粗引・再生 ○各種粗引き用、TMPのバックポンプ ○その他クリーンな真空装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
弊社は真空ポンプ、ブロワの専業メーカーとして優れた製品を世に送り出して参りました。 昨今急速に高まった「持続可能な開発目標(SDGs)」に対しても、40年以上も前から、環境負荷の少ないドライ真空ポンプ(ルーツ式内装多段式としては世界初)を開発しており、日本国内外問わず多数の納入実績がございます。 長年にわたり蓄積したノウハウを生かし、 時代のニーズに応える製品開発を行い、お客様のご要望と信頼に応えるべく、最適な製品をこれからもご提案して参ります。