半導体産業や電子産業の超純水中の極低濃度域のTOCを連続モニター！無試薬型「ガス透過膜導電率測定方式」のオンラインTOC計です
オンラインTOC計 Sievers M500eは、電子産業におけるSieversの長年の分析技術を発展させた、3世代目のオンラインTOC計です。Sieversの無試薬型ガス透過膜式導電率測定技術を採用し、TOC 1ppb未満の精度、正確さ、安定性を実現しました。 ●ガス透過膜式導電率測定方式で妨害イオンを除去 ●無試薬測定のためランニングコストを大幅に削減 ●分析時間を最大50％短縮（旧モデルと比較） Sievers 500RLe型の後継機種です。 正確性、効率性を向上させ、安定した超純水（UPW）の生産をサポートします。
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基本情報
・全有機炭素（TOC） 測定原理：紫外線酸化＋ガス透過膜式導電率測定方式 測定範囲：0.03 ～ 2,500 ppb TOC 精度：± 5% または ±0.1 ppb どちらか大きい方 再現性：1% または 0.03 ppb どちらか大きい方 測定時間：3分（連続オンライン測定時） サンプル流量（通常）：0.25 mL/分 サンプル給水流量：50 mL/分以上 サンプル温度：1～95℃ 短時間の蒸気暴露に耐性 サンプル水圧：100 psigまで 妨害物質：有機物以外の共存イオンの影響を受けない 校正安定性：通常12ヵ月間安定 ディスプレイ表示：有効数字3桁 ・装置 電源要件：100～240 VAC、70W、50/60 Hz 正常動作環境：室内のみ 周囲温度：5～40 ℃ 湿度：95％まで 結露しないこと 寸法：435（H）× 475（W）× 284（D）mm 重量：13.6 kg IP保護等級：IP55
価格帯
納期
用途／実績例
電子産業 ・超純水がTOC管理値を満たすことの確認 ・特に酸化しにくい環境において、有機物の完全な回収を保証する ・原水/超純水製造装置/生産工程に存在する有機化合物のデータを活用した、予防/品質保護/トラブルシューティング ・リソグラフィーに影響を及ぼす有機汚染物質を検出することで歩留まり低下を防止 ボイラー設備 ・糖類/洗浄剤/冷却液/有機酸などの低濃度の有機汚染物質をTOCで検出 ・ボイラー供給水の品質確保による設備のダウンタイム軽減 ・熱交換器の汚染検出によるポリッシング設備の保護 ・腐食性の有機酸を検出することによる設備停止と設備損傷の回避
詳細情報
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・Sievers独自のガス透過膜式導電率測定方式 導電率測定方式のTOC計では、有機物の酸化分解後に生成する二酸化炭素（炭酸根イオン）が示す導電率を測定することで、炭素濃度を算出します。Sievers M500eではテフロンの薄膜により二酸化炭素を試料水から分析計内の純水ラインに分離する「ガス透過膜モジュール」と称する二酸化炭素の分離測定メカニズムによって、他のイオンの影響を排除した正確なTOC測定を可能にします。
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・共存イオンの影響を受けない正確な測定 超純水の有機物汚染源は、尿素 / 酢酸 / イソプロパノール / トリメチルアミンなど多岐にわたります。Sievers M500eは有機汚染を正確に検出して超純水の品質を保証します。
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・加速リンス：2倍のスピード 稼働時間と低濃度のデータ収集能力を最大化するためにプロトコル完了後に高速でリンスダウンをします ✓従来と比較してリンス時間が半減 ✓メンテナンスや消耗品交換後も高精度測定
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・低濃度校正＆検証プロトコル 濃度証明付きの標準液を使って動作範囲に近い校正を行い 難分解性の化合物で検証を行います ✓校正（250ppb KHP） ✓検証（100ppb IPA）
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・アダプティブオートゼロ TOCオフセットの変化に基づいてTOCオートゼロの周期を自動的に決定します ✓TOC 1ppb以下の精度と安定性 ✓異なる装置間のマッチング ✓オートゼロ周期の手動設定は不要
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| SPRD78130-01 | Sievers TOC計 M500e型 <標準iOS付> |
企業情報
弊社は、1967年（昭和42年）の創立以来、誰でも迅速、簡単、高精度に測定できる水質測定器の開発、普及に努めてまいりました。 地球の環境保全とともに、限られた資源である水の有効活用が求められている現在、弊社は水質測定器、技術、サービスを駆使してあらゆる水環境に対応する、トータルソリューションプロバイダーを目指しています。 また、最新の技術と長年のノウハウを生かし、使い安く、信頼できる水質測定器をより安く、より速く、より広くお届けすることをモットーとして努力してゆく所存でございます。
