漏洩の可能性を削減する二重構造液路！高速応答を実現する薬液ヒーターをご紹介
『UFシリーズヒーター』は、応答時間が速く、高精度のプロセス制御を 実現する超純度フレキシブル薬液ヒーターです。 特許取得済みのフレキシブル加熱技術により、限られたスペースにも 設置することが可能。 また、既存のPFA薬液路をフレキシブルなインラインシステムへと進化させた ことにより、使用場所を選ばず、既存の薬液供給装置に容易に組み込むことが できます。 【特長】 ■特許取得済加熱技術 ■トップレベルの応答時間 ■高純度液路 ■窒素パージ不要 ■液気対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【その他特長】 ■高純度テフロンPFA-HG管を使用した高純度液路により、パーティクルトラップ としてのエラストマーOリング、デッドレグ(液溜り)が不要 ■特許取得済みの加熱技術により、超高速の温度応答を実現し信頼性を確立 ■既存の薬液供給装置に容易に組み込み、接続が可能 ■効率的な熱伝達および低レジデント薬液量により、流量および温度設定値変更に 対する高速応答を実現 ■薬液路の万一の漏洩を考慮した安全システムを採用し、不適切な取り扱いが あった場合でも、漏洩の可能性を削減する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
海外の電子電気機器を輸入販売する専門商社です。海外の最先端技術を応用した製品をいち早く紹介し、皆様のお役に立てる様に活動しています。 半導体用装置、半導体用薬品、プリント基板搬送装置、計測機器、赤外線加熱装置等の製品を取扱っており各メーカーは非常にユニーク且つ特徴のある製品を製造しています。半導体産業においてはパターンの微細化が進んでおり、それに伴い洗浄効果が重要視されています。弊社が取扱っているIMTEC社製品は高性能、高効率、高清純、高純度で世界中の半導体ウェットプロセスのラインで使用されています。TREBOR社はノンメタルダイアフラムポンプにおいて常に業界をリードしています。 Celesco社製計測機器はあらゆる分野において直線変位または速度が簡単に計測できます。 信用第一、誠実、迅速対応をモットーとし、お客様のニーズにタイムリーに応える会社です。
