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  4. パワーデバイス故障箇所・Slice&View 三次元再構築
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2024/11/06

パワーデバイス故障箇所・Slice&View 三次元再構築

株式会社アイテス 株式会社アイテス
FIB-SEMのSlice&View機能を用いた、故障箇所の三次元再構築について ご紹介いたします。 構造物の連続SEM画像を取得し、得られた像を三次元構築ソフト(Avizo)で、 SEM画像間のパターンの位置ズレを補正し立体的に可視化。 故障箇所に対して断面出しをする位置特定技術とSlice&View機能を 組み合わせることで不良状態を保持して異常部前後の情報を含めた 連続SEM画像を取得することができます。
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パワーデバイスのトータルソリューションサービス

パワーデバイスをあらゆる角度から徹底評価、検証します

■解決する力  知識と技術でかいけつに導くコンサルティング  スピード対応でお客様スケジュールを支援 ■つきとめる力  故障個所をピンポイントし可視化する技能  深い洞察力と高度かつ繊細な試料加工技術 ■特化した設備  最高180℃での液槽熱衝撃試験  パワー半導体に必須のパワーサイクル試験

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パワーデバイスの故障解析

ダイオード、MOS-FET、IGBT等のパワーデバイスの不良箇所特定・観察を行います。

あらゆるサイズ・形状のダイオード・MOS FET・IGBT等の パワーデバイスに対し最適な前処理を行い 裏面IR-OBIRCH解析や裏面発光解析により不良箇所を特定し観察いたします。 ■解析の前処理-裏面研磨-  各種サンプル形態に対応します。  Siチップサイズ:200um~15mm角 ■不良箇所特定-裏面IR-OBIRCH解析・裏面エミッション解析-  IR-OBIRCH解析:~100mA/10V ~100uA/25V まで対応  エミッション解析:~2kV まで対応  *低抵抗ショート、微小リーク、高電圧耐圧不良など幅広い不良特性に対応 ■リーク箇所のピンポイント断面観察-SEM・TEM-  予測される不良に合わせてSEM観察・TEM観察を選択し  リーク不良箇所をピンポイントで物理観察/元素分析を実施可能

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クロスビームFIBによる断面観察

FIB加工をリアルタイムで観察しながら断面観察が可能です。

半導体デバイス、MEMS、TFTなどナノスケールの精度で製造される エレクトロニクス製品の構造解析を行うための新たな手法: クロスビームFIBにより断面観察をご提案いたします。

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FIB-SEMによる半導体の拡散層観察

他手法より短納期!FIB-SEMによる形状観察と、拡散層観察の両方を実施できます!

当社では、『FIB-SEMによる半導体の拡散層観察』を行っております。 FIB法による断面作製とSEM観察によって半導体の拡散層を可視化、 形状評価を行いました。 SEMのInlens 検出器によって内蔵電位の違いを可視化した事例では 内蔵電位によりN型とP型領域で発生する二次電子のエネルギーに差が発生。 それによって生まれる軌道の差をSEMの検出器で検出します。 【特長】 ■FIB-SEMによる形状観察と、拡散層観察の両方を実施することが可能 ■他手法より短納期で対応 ■濃度は10E16まで検出可能 ■PN界面が可視化されるが、N+/N-,及びP+/P-の濃度差は検出不可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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パワー半導体の解析サービス

故障箇所→拡散層評価を含めた物理解析/化学分析までスルー対応いたします!

株式会社アイテスでは、パワー半導体の解析サービスを承っております。 当社は日本IBM野洲事業所の品質保証部門から1993年に分離独立して以来、 独自の分析・解析技術を培ってきました。 Si半導体だけでなく、話題のワイドバンドギャップ半導体も対応可能です。 【特長】 ■OBIRCH解析ではSiだけでなく、SiCやGaNデバイスにも対応 ■表裏どちらからでもFIB加工可能 ■PN接合部に形成された空乏層を可視化 ■EDS、EELS分析といった元素分析も対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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FIB-SEM Helios 5 UC 導入のお知らせ

ソフトマテリアルの断面作製も実現!Auto Slice&Viewで3D再構築も可能です!

『FIB-SEM Helios 5 UC』の導入により、11月よりサービス開始予定! 今までより短納期、確実なフィードバックをご提供いたします。 パワーデバイスやIC、太陽電池や受発光素子といった半導体デバイスや MLCCなどの電子部品からソフトマテリアルといった多岐にわたる硬軟材料の 断面観察・分析を高スループットで実現。 最大100nAの質の良いビームにより、大面積を高速加工できるほか、 FIBを低加速で仕上げることによりダメージ層の少ない高品質の試料作製が 可能です。 【Helios 5 UCの主な特長】 ■高速・大面積FIB加工 ■低加速仕上げによるダメージ層低減 ■Cryo-FIB加工 ■3Dイメージング ■TEM試料加工の完全自動化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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FIB-SEMによる半導体の拡散層観察

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パワー半導体の解析サービス

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「半年ダラダラ vs 3ヶ月で本稼働~初期設定支援を使うべき企業の条件~」の資料を公開しました!

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このたび、勤怠管理システムの導入・運用を検討している企業向けのホワイトペーパー「半年ダラダラvs 3ヶ月で本稼働 ~初期設定支援を使うべき企業の条件~」を公開しました。本資料では、導入時につまずきやすい初期設定のポイントや、自社対応と専門支援を活用した場合の違いをわかりやすく解説しています。勤怠管理システムをスムーズに立ち上げたい方は、ぜひご覧ください。

2026年07月01日

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夏の大感謝祭2026

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2026年7月より9月末まで、夏の大感謝祭を開催! 高圧洗浄機を大特価にてご用意! 企画1 SP60L/60new/60DX/60GEの特別セットにZスイベルジョイントセットがサービス! 企画2 コンプレッサー購入のお客様にニューレッドホース30mをサービス! 企画3 洗浄ホース【6M】を特別価格にて提供! 人気の高圧洗浄機シリーズ、洗浄付属品、塗装機、コンプレッサー、その他製品も多数! 掲載品はお得に購入できます! 是非!この機会をお見逃しなく!

2026年07月01日

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Envu 防蟻剤 認定証更新のお知らせ

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(公社)日本しろあり対策協会   ハチクサンFL  第3359号 (公社)日本しろあり対策協会   ハチクサンMC 第3511号 2026年7月1日更新分を公開しております。

2026年07月01日

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RKB毎日放送『志、情熱企業』で、日本ピットが紹介されました

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九州各地で大きな志を持って活躍する企業を取り上げる、RKB毎日放送の経済番組『志、情熱企業』にて、日本ピットが紹介されました。 ■ 放送内容について もともと溝ぶた(配線ピットや排水ピットなど)を規格化して全国で販売してきた日本ピットが、2003年(平成15年)の福岡市・御笠川氾濫による甚大な水害をきっかけに製作を開始したのが防水板(止水板)です。 近年のゲリラ豪雨の頻発や津波被害想定など、激甚化する水害から街と人命を守るために挑戦を続ける、当社の「ものづくりへの情熱」とこれからの防災・減災に対するビジョンが、わずか2分半の映像に凝縮されています。 番組公式YouTubeチャンネルにてアーカイブ動画が公開されておりますので、ぜひ下記リンクよりご覧ください。 ▼『志、情熱企業』日本ピット 放映映像はこちら https://youtu.be/_SIf9D8LJOk?si=g58Ep33GmJ2KT3bE

2026年07月01日

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【隣室や別フロアへ温風を届けるペレットストーブの温風ダクト設計をご提案します】

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【施工事例】古民家リノベ×温風ダクトのペレットストーブ 昨今、古民家リノベーションや住宅リフォームでペレットストーブを検討される方が増えています。「ストーブのある部屋だけでなく、家全体を暖めたい」というご要望にお応えするのが、弊社の「温風ダクト対応モデル」です。 床下や壁内にダクトを配管し、隣室や別空間へ温風を届けるため、事前設計が必要となります。ここで生きてくるのが、設備配管工事を本業とする弊社の強みです。CADを用いた正確な配管図面の作成から、建物構造を考慮したルート設計、納まり、保温・断熱処理まで一貫して対応いたします。 今回は、古民家を宿泊施設へリノベーションした際の施工事例(図面等)をご紹介します。 機種: EDILKAMIN社(イタリア) CHERIE 11 EVO(温風ダクト2方向) 送風先: 2本のダクトで「寝室」と「洗面スペース」へ供給 機能: 各ダクトの吹き出し量は5段階調整、ファンのON/OFF操作も可能 間取りや構造に合わせた最適な暖房プランをプロの視点でご提案いたします。お気軽にご相談ください。

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