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  3. ウシオ電機株式会社
  4. SEMICON Japan 2024へ出展いたします
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2024/08/24

SEMICON Japan 2024へ出展いたします

ウシオ電機株式会社 ウシオ電機株式会社
弊社では2024年12月11日 (水) 〜 13日 (金)にかけて東京ビッグサイトで開催される SEMICON Japan 2024へ出展いたします 昨年同様、各種光加熱製品を出展しますので、ご来場をお待ちしております。
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第三の光加熱源!LEDアニール装置

加熱効率向上で省エネルギー化!高速応答性でサーマルバジェット低減を実現

『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。 また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。 【特長】 ■加熱効率向上 ■高速応答性 ■高精度温度計測 ■高均一性 ■基板表面の加熱が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フラッシュランプアニール装置『SUS980シリーズ』

ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置!大面積で一括照射、高照射が可能!

『SUS980シリーズ』は、結晶化、剥離、酸化膜形成などの用途にお使いいただける フラッシュランプアニール装置です。 ランプに流れる電流を半導体スイッチでON/OFF制御することで、 ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1~60msec)。 ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し大面積で一括照射、 高照射が可能です。 【特長】 ■深さコントロール(バルス制御) ■ランプに流れる電流を半導体スイッチでON/OFF制御 ■ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1~60msec) ■複数パルスの照射も可能 ■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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直接加熱が可能!直管形二重管ハロゲンヒータランプQIRT

フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適!気密性を高めた二重管ヒーターランプ

『直管形二重管ハロゲンヒータランプQIRT』は、二重管構造で密閉性を 高めたことにより、水や薬液、油などの液体につけて、直接加熱することが できるランプです。 また、二重管構造は、ランプ破損時の飛散を防ぐなど、安全性を高められることから、 フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適。 オーダーメイドシステムでは、任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて 設計できます。 【ラインアップ】 ■QIRT100V500W ■QIRT100V700W ■QIRT200V2000W ■QIRT200V2000WL ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮!ラインヒータユニット

加熱対象物の形状、照射範囲などから選択可能!ヒータユニットのご紹介

『ラインヒータユニット』は、ヒータランプとミラーを組み合わせ、 ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮する製品です。 寸法、特性を絞り込んで規格化したことで、コストパフォーマンスが高く、 試作検証や実験などに導入しやすくなっています。 また、必要な特性に合わせたオーダーメイドにも対応。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■ヒータランプとミラーを組み合わせ、ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮 ■寸法、特性を絞り込んで規格化 ■コストパフォーマンスが高い ■試作検証や実験などに導入しやすい ■必要な特性に合わせたオーダーメイドにも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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500℃を超える高温域!高出力ラインヒータユニット

ユーザが求める温度、出力、寸法など!特性に合わせたランプ、ミラー形状、冷却方式を選定

『高出力ラインヒータユニット(オーダーメイド)』は、500℃を超える高温域での 光コントロールを可能にする高出力な製品です。 ユーザが求める温度、出力、寸法など、特性に合わせたランプ、ミラー形状、 冷却方式を選定し、完全オーダメイドで対応。 ミラー形状は、フォーカスタイプをはじめ、パラボラタイプ P、 パラボラタイプ N(コンパクト型・金メッキミラー仕様)をご用意しております。 【特長】 ■500℃を超える高温域での光コントロールを可能にする高出力なラインヒータユニット ■特性に合わせたランプ、ミラー形状、冷却方式を選定し、完全オーダメイドで対応 ■フォーカスタイプをはじめ、パラボラタイプ P、パラボラタイプ Nをご用意 ■パラボラタイプは広い面積を均一に照射可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光加熱 総合カタログ

高効率なエネルギー源!赤外線ハロゲンヒータなどの光加熱製品をご紹介

当カタログでは、赤外線ハロゲンヒータを中心に光加熱製品を 掲載しております。 広い範囲を平面加熱することができる直管形ハロゲンヒータランプ「QIR」、 シリコンウェハの高温加熱装置等に適したサークル形ハロゲンヒータランプ 「QIR Circle」などをラインアップ。 その他にも「フラッシュランプアニール装置 SUS980 シリーズ」と 「LED アニール装置」についてもご紹介しています。 【掲載内容(一部)】 ■光加熱とは ■赤外線ハロゲンヒータ ■赤外線ハロゲンヒータの用途 ■赤外線ハロゲンヒータの種類と特殊加工 ■直管形ハロゲンヒータランプ QIR ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

大面積で一括照射・高照度での照射が可能!複数パルスの照射もできる加熱装置

『フラッシュランプアニール装置』は、1秒以内で瞬時に対象物を アニールする光応用加熱装置です。 UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの 光により、0.1~60msecの範囲を任意に可変可能。 焼成、剥離、表面改質など幅広いスペクトルを利用した様々な用途に お使いいただけます。 【特長】 ■スペクトル ・紫外から可視・赤外領域まで幅広い波長特性 ■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度) ・ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し、  大面積で一括照射、高照度(Max70J/cm2)での照射が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle

真空対応などの加工が可能!円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます!

『サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle』は、シリコンウェハの 高温加熱装置などに好適なサークル状のランプです。 円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます。希望のサイズ、 特性に応じた設計ができ、真空対応などの加工も可能。 オーダーメイドシステムでは、最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、 設置条件、特性に合わせて設計できます。 【特長】 ■シリコンウェハの高温加熱装置などに好適なサークル状のランプ ■円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できる ■希望のサイズ、特性に応じた設計でき、真空対応などの加工も可能 ■最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて設計可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【事例紹介】液体の保温・加熱

【事例紹介】液体の保温・加熱

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です 【特徴】 ○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄  液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄などに使用される  純水や薬液を保温・加湿することが可能 ○高品質の石英ガラスで2重に覆われた  ハロゲンランプで構成されているため、不純物汚染が少なく  加熱効率95%以上と高効率に加熱することが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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【事例紹介】成膜装置のプレヒート

【事例紹介】成膜装置のプレヒート

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。 真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った ハロゲンランプヒータを使用することにより 半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において タクトタイム短縮に貢献することができる ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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【事例紹介】RTP(ラピッドサーマルプロセス)

【事例紹介】RTP(ラピッドサーマルプロセス)

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。 かつての半導体熱処理は、ファーネス(断熱)が一般的だったが ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。 また、次世代半導体においては、熱流束技術として フラッシュランプアニールが主流となっています。 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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ウシオの光で出来ること 熱する『接合』

ウシオの光で出来ること 熱する『接合』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(接合)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:ハロゲンランプヒータ ○各種ヒートシンクの配管溶接にハロゲンヒータが採用 ○ハロゲンヒータの光は輻射熱として  照射されるため、温風タイプとは異なり  周囲環境に左右されにくく  短時間で所定温度まで昇温が可能 ○ガスバーナなどの加熱とは異なりCO2の環境負荷に適している ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(不純物拡散)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ ○半導体工程において、ソースドレインにインプラントを行い  その後、アニール工程によってドーピングした不純物を活性化 ○クセノンフラッシュランプの特性を活かし  ミリ秒単位という短時間で今までの活性層の深さに比較して  極めて浅い部分(nmオーダー)を高温アニールし  不純物の拡散を防ぐことが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(加熱/成膜)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:ハロゲンランプヒータ ○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける  金属膜、絶縁膜の形成に用いられる  CVDやスパッタリング装置の熱源として最適 ○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを  用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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シリコンウェハやガラスレンズの加熱に好適!サークルヒータユニット

3次元反射光シミュレーションを経て設計!優れた加熱均一性と昇温性能

『サークルヒータユニット』は、主にシリコンウェハの急速加熱や ガラスレンズの成形前加熱などに好適な製品です。 3次元反射光シミュレーションを経て設計された反射鏡とランプを 適切に配置。優れた加熱均一性と昇温性能を持っています。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【UL-HU-CH36KW/STD 仕様(抜粋)】 ■定格電圧:200V ■消費電力:36kW ■ユニット外径:470mm ■ユニット奥行:235.5mm ■重量:30kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光加熱 総合カタログ

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光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

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ウシオ電機株式会社
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ニュース

294_経営資源を最適に配分しやすくなる!?『プロダクトポートフォリオマネジメント(PPM)』

【株式会社SBSマーケティング】経営資源を最適に配分しやすくなる!?『プロダクトポートフォリオマネジメント(PPM)』

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支援会社と事業会社での実務経験をベースに、主にBtoB(企業間取引)分野のマーケティングや販売促進、集客に関連したコンサルティングサービスを提供している株式会社SBSマーケティングは「経営資源を最適に配分しやすくなる!?『プロダクトポートフォリオマネジメント(PPM)』」ページを2025年09月23日(火)に公開しました。 自社の事業を「市場の成長性」と「市場シェア」の2軸で評価し、4象限に分類することで経営資源を最適に配分しやすくなる『プロダクトポートフォリオマネジメント』。活用することで実現できるメリット、構成する2軸と4象限、抱えるリスクなどについて解説しています。 (ページの概要:抜粋) ■『プロダクトポートフォリオマネジメント』とは? ■『PPM』によって実現できること ■『PPM』の構成要素(縦軸と横軸) ■『PPM』の構成要素(4象限) ■『PPM』が抱える2つのリスク(DLコンテンツのみ) ▼詳しくはこちらのページをご覧ください。 https://sbsmarketing.co.jp/blog/ppm-2025-09/

2025年09月27日

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【経営層・総務部門の方へぜひご紹介ください】経費精算システム導入事例更新!2~3時間かかっていたFBデータの入力・チェック作業が、たった5分で完結!

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株式会社TSP様へ、経費精算システム「楽楽精算」を 導入した事例について記事が公開されました。 ~TSP様の場合~ 導入前の課題として、各拠点から送られてくる「紙」への対応や、 担当者の属人化という点がありました。 導入後は、2~3時間かかっていたFBデータの入力・チェック作業が、 たった5分で完結するようになりました。また、手打ちありきだった 経理部門の意識も変わりました。 【事例概要】 ■導入前の課題 ・各拠点から送られてくる「紙」への対応、担当者の属人化 ■導入のポイント ・設定・運用のサポート体制が充実している ・金額的にも機能的にも小さい規模から始めやすい ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

2025年09月26日

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【徘徊対策】「ナースコール連動型ワイヤレスシリーズ」コードによるつまづき・断線を防止!

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ナースコールを運用している施設で離床センサーをワイヤレス化し、ナースコールと連動してお知らせします。 マットセンサー「たためる薄型マッ太君」、体動コール 「うーご君」 、車椅子用体動コール「あゆみちゃん」を送信機HB-RSに接続するだけで、離床センサーをワイヤレス化できます。 赤外線センサー「置くだけポール君」には送信機HB-RSが内蔵されております。 【特長】 ○既存センサーを送信機HB-WSKに接続するだけで、ワイヤレス化 ○離床センサーをワイヤレスでナースコールと連動し、お知らせします。 ○一台の受信機で最大5 台までの送信機を登録できます。 ○送信機・受信機の通信距離は約10m ◎詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

2025年09月26日

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満空管理(大中規模)

駐車場の満空管理用車両検知センサー|株式会社ホトロン

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満空管理とは、駐車場の空き状況をリアルタイムで表示し、駐車スペースの効率的な使用を管理することです。 ホトロンのセンサーを利用することで、ドライバーが素早く空いている駐車スペースを発見することが可能になり、効率的な駐車場運営を実現します。 ■大型駐車場では、コスト軽減を重要視した「フロア管理方式」「ブロック管理方式」がおすすめです。 一定ポイントごとにセンサーを設置し、通過する車両数をカウント管理します。設置が簡単で低コストで利用できるメリットがあります。 【対象製品】 ・車両カウントセンサー CCS2 ・超音波センサー HM-UX2/UW2 ■小規模では、車室ごとにセンサーを設置し、高い精度で空き状況を表示できる「車室管理方式」がおすすめです。確実な満空表示をすることで、新規車両の無駄な入場を抑制、安全な駐車場運営を実現します。 【対象製品】 ・在車検知センサー HM-UX2/UW2 ・在車/通過検知センサー HM-LC6 ・在車検知センサー HM-LC7/LC7-FLS ・在車/通過検知センサー HM-S6 ・在車検知センサー HM-S8

2025年09月26日

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【株式会社キャステム】「開発段階から鋳造品を」 関西機械要素技術展 出展のお知らせ

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株式会社キャステムは、2025年10月1日(水)~3日(金)にインテックス大阪で開催される「ものづくりワールド大阪 機械要素技術展」に出展いたします。 ロストワックス精密鋳造、MIM(金属粉末射出成形)品の展示や、弊社新技術の金型レス鋳造「デジタルキャスト」をご紹介します。毎回ご好評をいただいている鋳造実演のほか、金属部品のお悩み解決事例をプレゼンでご紹介します。超少ロットから量産まで、ニーズに応じた最適な製法をご紹介する「技術相談ブース」としてご活用ください。 【展示会概要】 会期:2025年10月1日(水)~10月3日(金)10:00~17:00 会場:インテックス大阪 (大阪府大阪市住之江区南港北1-5-102) 出展小間番号:6号館 Bホール 51-1 事前登録でスムーズな入場が可能。 下記URLからお申し込みの上のご来場が便利です。 皆様のご来場を、心よりお待ちしております。 https://www.manufacturing-world.jp/osaka/ja-jp/register.html?code=1431877272389396-VEK

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