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  3. ウシオ電機株式会社
  4. SEMICON Japan 2024へ出展いたします
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2024/08/24

SEMICON Japan 2024へ出展いたします

ウシオ電機株式会社 ウシオ電機株式会社
弊社では2024年12月11日 (水) 〜 13日 (金)にかけて東京ビッグサイトで開催される SEMICON Japan 2024へ出展いたします 昨年同様、各種光加熱製品を出展しますので、ご来場をお待ちしております。
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関連製品

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第三の光加熱源!LEDアニール装置

加熱効率向上で省エネルギー化!高速応答性でサーマルバジェット低減を実現

『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。 また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。 【特長】 ■加熱効率向上 ■高速応答性 ■高精度温度計測 ■高均一性 ■基板表面の加熱が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フラッシュランプアニール装置『SUS980シリーズ』

ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置!大面積で一括照射、高照射が可能!

『SUS980シリーズ』は、結晶化、剥離、酸化膜形成などの用途にお使いいただける フラッシュランプアニール装置です。 ランプに流れる電流を半導体スイッチでON/OFF制御することで、 ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1~60msec)。 ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し大面積で一括照射、 高照射が可能です。 【特長】 ■深さコントロール(バルス制御) ■ランプに流れる電流を半導体スイッチでON/OFF制御 ■ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1~60msec) ■複数パルスの照射も可能 ■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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直接加熱が可能!直管形二重管ハロゲンヒータランプQIRT

フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適!気密性を高めた二重管ヒーターランプ

『直管形二重管ハロゲンヒータランプQIRT』は、二重管構造で密閉性を 高めたことにより、水や薬液、油などの液体につけて、直接加熱することが できるランプです。 また、二重管構造は、ランプ破損時の飛散を防ぐなど、安全性を高められることから、 フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適。 オーダーメイドシステムでは、任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて 設計できます。 【ラインアップ】 ■QIRT100V500W ■QIRT100V700W ■QIRT200V2000W ■QIRT200V2000WL ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮!ラインヒータユニット

加熱対象物の形状、照射範囲などから選択可能!ヒータユニットのご紹介

『ラインヒータユニット』は、ヒータランプとミラーを組み合わせ、 ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮する製品です。 寸法、特性を絞り込んで規格化したことで、コストパフォーマンスが高く、 試作検証や実験などに導入しやすくなっています。 また、必要な特性に合わせたオーダーメイドにも対応。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■ヒータランプとミラーを組み合わせ、ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮 ■寸法、特性を絞り込んで規格化 ■コストパフォーマンスが高い ■試作検証や実験などに導入しやすい ■必要な特性に合わせたオーダーメイドにも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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500℃を超える高温域!高出力ラインヒータユニット

ユーザが求める温度、出力、寸法など!特性に合わせたランプ、ミラー形状、冷却方式を選定

『高出力ラインヒータユニット(オーダーメイド)』は、500℃を超える高温域での 光コントロールを可能にする高出力な製品です。 ユーザが求める温度、出力、寸法など、特性に合わせたランプ、ミラー形状、 冷却方式を選定し、完全オーダメイドで対応。 ミラー形状は、フォーカスタイプをはじめ、パラボラタイプ P、 パラボラタイプ N(コンパクト型・金メッキミラー仕様)をご用意しております。 【特長】 ■500℃を超える高温域での光コントロールを可能にする高出力なラインヒータユニット ■特性に合わせたランプ、ミラー形状、冷却方式を選定し、完全オーダメイドで対応 ■フォーカスタイプをはじめ、パラボラタイプ P、パラボラタイプ Nをご用意 ■パラボラタイプは広い面積を均一に照射可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光加熱 総合カタログ

高効率なエネルギー源!赤外線ハロゲンヒータなどの光加熱製品をご紹介

当カタログでは、赤外線ハロゲンヒータを中心に光加熱製品を 掲載しております。 広い範囲を平面加熱することができる直管形ハロゲンヒータランプ「QIR」、 シリコンウェハの高温加熱装置等に適したサークル形ハロゲンヒータランプ 「QIR Circle」などをラインアップ。 その他にも「フラッシュランプアニール装置 SUS980 シリーズ」と 「LED アニール装置」についてもご紹介しています。 【掲載内容(一部)】 ■光加熱とは ■赤外線ハロゲンヒータ ■赤外線ハロゲンヒータの用途 ■赤外線ハロゲンヒータの種類と特殊加工 ■直管形ハロゲンヒータランプ QIR ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

大面積で一括照射・高照度での照射が可能!複数パルスの照射もできる加熱装置

『フラッシュランプアニール装置』は、1秒以内で瞬時に対象物を アニールする光応用加熱装置です。 UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの 光により、0.1~60msecの範囲を任意に可変可能。 焼成、剥離、表面改質など幅広いスペクトルを利用した様々な用途に お使いいただけます。 【特長】 ■スペクトル ・紫外から可視・赤外領域まで幅広い波長特性 ■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度) ・ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し、  大面積で一括照射、高照度(Max70J/cm2)での照射が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle

真空対応などの加工が可能!円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます!

『サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle』は、シリコンウェハの 高温加熱装置などに好適なサークル状のランプです。 円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます。希望のサイズ、 特性に応じた設計ができ、真空対応などの加工も可能。 オーダーメイドシステムでは、最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、 設置条件、特性に合わせて設計できます。 【特長】 ■シリコンウェハの高温加熱装置などに好適なサークル状のランプ ■円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できる ■希望のサイズ、特性に応じた設計でき、真空対応などの加工も可能 ■最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて設計可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【事例紹介】液体の保温・加熱

【事例紹介】液体の保温・加熱

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です 【特徴】 ○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄  液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄などに使用される  純水や薬液を保温・加湿することが可能 ○高品質の石英ガラスで2重に覆われた  ハロゲンランプで構成されているため、不純物汚染が少なく  加熱効率95%以上と高効率に加熱することが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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【事例紹介】成膜装置のプレヒート

【事例紹介】成膜装置のプレヒート

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。 真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った ハロゲンランプヒータを使用することにより 半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において タクトタイム短縮に貢献することができる ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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【事例紹介】RTP(ラピッドサーマルプロセス)

【事例紹介】RTP(ラピッドサーマルプロセス)

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。 かつての半導体熱処理は、ファーネス(断熱)が一般的だったが ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。 また、次世代半導体においては、熱流束技術として フラッシュランプアニールが主流となっています。 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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ウシオの光で出来ること 熱する『接合』

ウシオの光で出来ること 熱する『接合』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(接合)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:ハロゲンランプヒータ ○各種ヒートシンクの配管溶接にハロゲンヒータが採用 ○ハロゲンヒータの光は輻射熱として  照射されるため、温風タイプとは異なり  周囲環境に左右されにくく  短時間で所定温度まで昇温が可能 ○ガスバーナなどの加熱とは異なりCO2の環境負荷に適している ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(不純物拡散)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ ○半導体工程において、ソースドレインにインプラントを行い  その後、アニール工程によってドーピングした不純物を活性化 ○クセノンフラッシュランプの特性を活かし  ミリ秒単位という短時間で今までの活性層の深さに比較して  極めて浅い部分(nmオーダー)を高温アニールし  不純物の拡散を防ぐことが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(加熱/成膜)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:ハロゲンランプヒータ ○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける  金属膜、絶縁膜の形成に用いられる  CVDやスパッタリング装置の熱源として最適 ○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを  用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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シリコンウェハやガラスレンズの加熱に好適!サークルヒータユニット

3次元反射光シミュレーションを経て設計!優れた加熱均一性と昇温性能

『サークルヒータユニット』は、主にシリコンウェハの急速加熱や ガラスレンズの成形前加熱などに好適な製品です。 3次元反射光シミュレーションを経て設計された反射鏡とランプを 適切に配置。優れた加熱均一性と昇温性能を持っています。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【UL-HU-CH36KW/STD 仕様(抜粋)】 ■定格電圧:200V ■消費電力:36kW ■ユニット外径:470mm ■ユニット奥行:235.5mm ■重量:30kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

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ハロゲンヒータユニット

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センサーが車を検知すると、回転灯の光で車の出庫を歩行者にお知らせ!

【駐車場、店舗等の出入り口に最適】回転灯の光で車の出庫を歩行者にお知らせ!出庫警告用センサーのご提案です!

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【駐車場の所有者さま及び駐車場施工店さまへ】 「駐車場から車で出るときに、歩行者と接触しないか心配だ・・・」 駐車場や店舗、住宅、工場などの車両出入り口の中でも、特に歩道や車路に面している車両出入り口では、歩行者との接触事故や車両同士の衝突事故などの危険なトラブルが予想されます。 そんなご不安を軽減するため、ホトロンは、様々な現場で車両の出庫を検知し、回転灯のLED光やブザーで周囲に注意喚起を行なう【出庫警告用センサー】をご提案します。 「センサー」+「コントローラー」+「スイッチング電源(24V) 」+「LED回転灯」のシンプルな機器構成。 ※出庫警告システムをご利用時はスイッチング電源(24V)、LED回転灯、制御盤、ブレーカー等は、お手数ですがお客様手配でお願いいたします。 後付け施工もできるため、既存の駐車場出入り口にもお使いいただけます。 【掲載内容】 ○出庫警告システム構成 ○出庫警告用センサー比較表 ○4つのモード ○幅広い用途 ○お客様の声 ○外観図/仕様 ◎詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

2025年12月26日

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非接触光線タッチセンサー『HA-T401』

感染症対策におすすめ!施設向け非接触センサーのご紹介

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感染症対策や施設の衛生管理に関心が高まる昨今。 弊社では商業施設をはじめ、食品工場や看護・介護施設におすすめの非接触センサー製品を取り扱っています。 【自動ドア用センサー】 ●光線タッチセンサー HA-T401 … 自動ドアの前に手をかざすとセンサーが動きを検出してドアを開閉します。タッチスイッチを利用しているドアの非接触化にオススメです。 ●手かざしセンサー PF-R5,PF-U2,DHS-1 … センサーの前に手をかざして自動ドアを開閉します。 ●フットスイッチ PF-01S/01D/03S/05 … 開口部に足を入れて自動ドアを開閉します。 【入退室管理システム】 ●顔認証+無人検温DSシリーズ … 顔認証と同時にマスク着用検知や体温測定も可能です。 ●自動薬液噴霧供給器 PHW-03B … センサーに手をかざすと自動で薬液を噴霧します。 【看護・介護用センサー】 ●赤外線離床センサー「置くだけポール君」 … ベット横などに設置し対象者が検出範囲に入るとナースコールでお知らせする離床センサーです。 ◎詳しくはカタログをダウンロード、お問い合わせください。

2025年12月26日

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【1/26 OPEN!】トランシーバー&スマホレンタルショップ

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新春の候 ますますご清栄のこととお慶び申し上げます。 平素は格別のお引き立てを賜り厚く御礼申し上げます。 STJグループ(サンテレコムジャパン、STJレンテック)です。 さて、このたびは「トランシーバー&スマホレンタルショップ」を 1月26日(月)全国3か所同時オープンすることとなりました! ■提供予定サービス一覧 ・レンタル機器の当日受取/返却 ・レンタル機器ご利用解説、デモンストレーション ・ワイヤレスソリューション相談窓口 ・モバイルBPOサービスカウンター レンタルショップオープン記念特典として、 レンタル機器ショップ受取特別プライスキャンペーン実施中! 詳しくはお問い合わせください!

2025年12月26日

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のうさんgirl letter 2025年11-12月合併号

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住友林業緑化株式会社 農産事業部です。 私たちの事業部では、農業用・園芸用・緑化用の培養土を 製造、販売しています。 今後、のうさんgirl Letterを通して、 当社製品を定期的に紹介していきたいと思います。

2025年12月26日

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先着1万名様に、Amazonギフトカード500円分をプレゼント

ITトレンドEXPO2026 Spring出展のお知らせ

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ITトレンドEXPO2026 Springへの出展についてお知らせいたします。 《出展情報》  ”新たな出会いが明日の「働く」を変える”をコンセプトに、  業界最大級のオンライン展示会が開催されます。    NTTテクノクロスは人事総合カテゴリへ出展いたします。  日常的にテレビでご活躍されている特別ゲストの対談や  セッションを多数ご用意しており、日頃お忙しい方でも集中的・効率的に   IT・DX化における製品やサービスの情報収集が可能です。  また先着1万名様には、Amazonギフトカード500円分をプレゼントいたします。  ぜひお早めにお申し込みください。 《出展概要》  2026年3月3日(火)~7(土)オンライン(無料:事前登録制) 《参加申込》  https://it.expo.it-trend.jp/key/opl7kgdj  ※上記URLの「チケットを受け取る・参加登録に進む」より申込(無料)ください。

2025年12月26日

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