パターンレジスト塗布用自動ディップコーター。全自動制御で大面積基板に精密なレジスト塗布を実現
本装置は、プリント基板製造工程で、ドライフィルムに代わるパターンレジストを板状の銅板に連続ディップコート、乾燥、冷却を自動で行う全自動ディップコーター(ディップコーティング)装置です。 ストローク650mm、W620×H510×t1.6mmの基板に対応。全自動制御により均一で再現性の高いレジスト塗布を実現し、フォトリソ工程に最適です。大面積基板処理を効率化し、生産性を高める設計となっています。
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基本情報
【主仕様】 1ストローク650mm 2対象サイズW:620×H:510×t1.6 3対象材質銅板 4ディップ速度1.0mm～50mm/sec 5塗布液循環部有 6塗布液温度管理有 7フィルターメッシュ有 8乾燥部有 9乾燥温度100℃ 10ヘパユニット有 11装置サイズ(概寸)W:8500×D:2000×H:2550mm
価格情報
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納期
用途／実績例
プリント基板用基板へのレジスト塗布等 半導体基板やフォトマスク製造におけるレジスト塗布工程に導入。量産ラインでの高精度パターン形成に利用されています。
ラインアップ（10）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| HC-1004 | 硬質コート材を均一に塗布、耐久性に優れた膜形成を実現 |
| FA-0406 | 全自動制御で大面積基板に精密なレジスト塗布を実現 |
| SA-1210 | プリント基板専用設計で均一な保護膜を形成 |
| SA-1407-S1 | 2インチウェハー対応、精密なフォトリソ工程を支援 |
| SA-1503-S1 | 操作性と精度を両立、汎用性に優れたセミオート装置 |
| SA-1509UL | 旋回機構搭載で複雑形状も均一に処理可能なUL認定装置 |
| SA-1712 | 液使用量を最小限に抑えつつ高精度コーティングを実現 |
| SA-1801 | 超音波洗浄でガラス材の表面を清浄化し高精度処理を実現 |
| SA-2203 | 4インチウェハー対応、高精度フォトリソ用ディップコーター |
| SA-2210 | 1000mm/secの高速処理で多層膜形成を効率化する量産装置 |
カタログ（71）
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企業情報
【経営理念】 顧客満足度NO1企業であれ 【モットー】 人は一瞬で変われる! 全ては今から!