クリエイティブテクノロジーの製品・サービス一覧

　半導体製造装置内、処理ステージとなるピンチャックや静電チャック上にパーティクルが存在する場合、プロセスエラーや装置停止の原因となります。一般的にはダミーウェハーを使用したインラインクリーニング（ダミーラン）によるパーティクルの除去がおこなわれていますが、ダミーランでも除去できないパーティクルは、装置を停止して人手によるクリーニング作業をおこないます。しかしながら、装置復旧までには多くの時間を要しているのが実状です。 クリエイティブテクノロジーはこのような状況を打開するため、半導体製造装置向けのインラインステージクリーニングツールとしてウェハ型ステージクリーナー「イレイザーディスク」（eRaser Disk）を開発しました。シリコンウェハー上に特殊樹脂をコーティングすることでパーティクル除去性能の向上を実現し、ダミーラン時間の削減と装置停止頻度の低減に貢献します。

• 清掃

『ESCLIP（エスクリップ）』は、“貼る”“はがす”が自由自在にでき、 添えるだけでくっつく静電気吸着ディスプレイボードです。 貼りたい紙があればさっと添えるだけ。静電気の力でピタッと吸着させ、 何度も繰り返し貼れます。無くしたマグネットを探したり、のりやテープ、 画鋲の痕に悩まされる心配はありません。 貼って剥がす時以外は殆ど電力いらずの上、軽量薄型なのでどこでも簡単に 設置ができます。 【特長】 ■貼り付け道具が不要 ■大切な紙を傷つけない ■何度でも貼り替え可能 ■省電力設計で長持ち ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他オフィス備品
• その他の店舗用機器・備品類
• その他商業建築・サービス施設設備

当社で取り扱う、モバイル靴除菌器『DEODORANT ONE』をご紹介します。 自社開発の表面近傍で発生するラジカル（活性種）が臭いの原因菌を 強力に除去。さらに、ラジカルシートの作り出すオゾンなどの活性種が 悪臭の分解を行い、靴の中の臭いを効果的に軽減させます。 使い方は簡単で、靴の中のつま先部分まで差し込んで、スイッチを押すだけ。 内蔵タイマーで除菌が完了すると、自動で電源が切れます。 【特長】 ■独自開発のモバイルラジカルシートが匂いの原因を分解、消臭効果を持続 ■機能的なデザイン、柔軟性のある素材でさまざまな靴にフィット ■いつでもどこでも簡単操作、シーンに合わせてモードを切り替え ■色はホワイトとブルーをご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

『OiSHi（オイシイ）』は、世界最軽量クラスのハンディ空気清浄器です。 自社独自開発の高機能フィルターとマイナスイオンパワーでウイルスを ブロック。小型・軽量設計・バッテリー駆動なので持ち運びに便利です。 ラインアップは「ホワイト」をはじめ、「シトロン」や「ラベンダー」、 「ブロッサム」など豊富にご用意しており、コーポレートカラーや オリジナルデザインも作成できます。 【特長】 ■自社独自開発の3層構造静電集塵高機能フィルターの力で、空気中の 　ウィルスなどを取り除く ■ハンディサイズでも効果は抜群 ■小型で軽量設計 ■アロマは天然100%の精油を使用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 空気調和設備

クリエイティブテクノロジーは、「くっつける技術」で未来を創る会社です。 半導体製造装置の部品メーカーとして、静電チャックをはじめ、ヒーターや ウェハステージまで、設計から製造まで一貫して対応。 その技術の一部は、半導体業界だけでなく、ガラスやフィルムの搬送用途 などに応用され、FPD業界などその他の産業でも注目されています。 さまざまな可能性のある当社の技術を、どうぞ幅広くご用命ください。 【主な事業内容】 ■静電チャックおよび周辺技術の開発・製造・販売 ■その他吸着搬送機器の開発・製造・販売 ■静電チャック用電源およびセンサーの開発・製造・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

クリエイティブテクノロジーの『吸着モニターユニット』は、静電容量を検出することで、静電チャックと対象物の吸着状態を常時モニタリングできるツールです。 静電チャックや電源の改造をすることなく、静電チャックと電源の間に接続するだけで、静電チャックにセンサ機能を付与することが可能です。 【特長】 ■対象物の吸着状態を常時モニタリング ■突発的な不具合の検出可能 ■取り付けが容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他分析機器

IonPadとは優れた滑り止め性能を有し、高速搬送や高精度搬送を実現する把持・滑り止めパッドです。 ガラスやフラットパネルディスプレイの貼り合わせなどにご利用いただける粘着タイプと、高速搬送の滑り止めなどにご利用いただける非粘着タイプがあります。 【特徴】 ■シリコンウェハやガラスのようなフラットなワークの把持が得意。 ■大気・真空を問わず使用が可能。 ■お手入れが簡単。繰り返しの使用が可能。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。

• ピッキングロボット（棚搬送ロボット、アームピッキングロボット）
• 自動搬送ロボット
• 垂直搬送システム

株式会社クリエイティブテクノロジーでは、静電チャックの導入、専用電源や周辺機器の一括提案・購入が可能です。 当社の『静電チャック専用電源』は、より快適・安全に静電チャックが使用できるよう開発されており、用途に合わせたスペックの選択が可能です。 チャックシステム異常発生時には、電源が自動でOFFになる安全機能が搭載されており、未然に事故を防ぐことが可能です。 また、デチャックアシスト機能と極性切替機能により、電源OFF時の残留電荷の軽減や安定した把持力を維持できるよう設計されています。 【特徴】 ■用途に応じてスペックの選択が可能 ■異常時の自動電源OFF機能 ■残留電荷の軽減 ■極性切替による安定した把持力が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、HPよりお気軽にお問い合わせください。 HP：https://creative-technology.co.jp/products/chuck/

• 直流電源装置

『マルチマテリアル静電チャック』は、繊維素材など様々な対象物を吸着、 把持することができます。 バキュームでは吸着できない布生地を吸着し、静電気が発生しにくい綿などの 布生地も吸着可能。 また、全面吸着であるため、布生地吸着時にシワができにくいです。 【特長】 ■繊維素材など様々な対象物を吸着、把持 ■バキュームでは吸着できない布生地を吸着 ■静電気が発生しにくい綿などの布生地を吸着 ■全面吸着であるため、布生地吸着時にシワができにくい ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真空下でも使用可能 ■低消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

当社の『パーティクルコレクター』は、静電チャックの仕組みを応用し、 空間の埃やパーティクルを吸着するツールです。 小型イオナイザー搭載により、高い集塵効率を発揮し、薄型・軽量構造で 空いた壁のスペースに簡単に取付けが可能。 また、ファンモーターなどを使用していないため、動作音は無音で静かな 環境でも安心して使えます。 【特長】 ■消費電力が小さく、環境にも配慮している ■小型イオナイザー搭載 ■高い集塵効率を発揮 ■薄型・軽量構造で簡単に取付け可能 ■動作音が無音 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

当社は、総合静電チャックメーカーとしてお客様のご要求に応じた製品を 提供するため様々な材質の静電チャックを開発、製造、販売しています。 ご使用される環境と製品に求められる機能を把握し、当社の開発と 設計技術により、好適な製品仕様を提案。 また、高度な製造技術を駆使した高性能、高機能な製品を提供します。 【オプション対応例】 ■ヒーター内蔵 ・ステージ基材製造技術と薄型ヒーター製造技術を静電チャックと 　融合させることで、高精度の温度制御が可能 ■高温対応 ・静電チャック材質にALNセラミックを使用することで、～500℃の 　高温環境での使用が可能 ■異常放電対策 ・当社ノウハウにより、ガス穴周りに発生し易い異常放電対策が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

弊社静電チャックは、近年の世界的な自動化・省人化の流れの中で把持、搬送ツールとして選ばれる機会が増加しており、通常ロボットはもちろん、共働ロボットや、高速搬送等、幅広く対応しています。 クリエイティブテクノロジーでは、弊社で取り扱っているロボットはもちろん、お客様のロボットに合わせた、各種静電チャックのオーダーメイド設計が可能です。 また専用電源を用いた、外部信号入力による電源のON/OFF、および印加電圧の設定も可能です。

• 手仕分けライン
• その他オフィス備品
• その他