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『シリンダー内面外観装置』は、シリンダーなどの円筒物の内面を 自動検査する装置です。 スクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行います。 今までの検査時間の1/10程度で検査。検査はカメラがXY移動します。 画像記録のほか、任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を 全自動で行います。 【特長】 ■スクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行う ■目視検査では不可能であった定量化や見逃し欠陥を確実に検査 ■今までの検査時間の1/10程度 ■検査はカメラがXY移動 ■ローダー、アンローダー付きのインラインにも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『スクラッチ装置』は、ウエハーを複数枚乗せる事が可能で、極微少な スクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行います。 ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備しておりウエハーの 厚みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、 全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、 GaAs、サファイア、シリコンなど、多彩に対応致します。 【特長】 ■極微少なスクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行う ■ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備 ■ウエハーサイズは4インチが基本、装置カスタマイズにより 12インチ迄、選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『レンズ外観検査装置』は、高速高解像度カメラと照明系を工夫して 小型レンズの（スマホ含む）の外観検査を高速高精度で行います。 異物や傷、クラック等の検査も可能。手動でサンプルを搭載し、検査は 自動で行います。従来の顕微鏡目視測定に比べ、高精度CMOSカメラにより 圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現いたします。 また、インラインにも容易に対応致します。 【特長】 ■レンズ単体とモジュールの双方の検査に対応 ■異物や傷、クラック等の検査も可能 ■高精度CMOSカメラにより圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現 ■インラインにも容易に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『レンズ高さ測定装置』は、高速高解像度カメラと顕微鏡を用いてレンズ 焦点法によりキャリア上に搭載されている部品の3次元測定を自動で行います。 レンズ先端部と基板部の段差を同時測定。 インジェクションで基板に成形したレンズの高さ測定が可能です。 従来の顕微鏡目視高さ測定に比べ、高精度CMOSカメラにより圧倒的な 高精度、高再現性を短時間で実現いたします。 また全自動型インラインにも容易に対応致します。 【特長】 ■短時間検査 ■高速解析 ■カスタマイズ可 ■インジェクションで基板に成形したレンズの高さ測定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『EP500』は、CADデータをマスターとした製品の自動寸法測定ができる 電子投影機です。 また、製品を基準としてマスター登録するのでは無くCAD データを 基準としての登録が可能。 交差の大きい製品でも測定及び良否判定が可能である上に、 登録作業を効率良く実施できます。 【特長】 ■CADデータベースでのマスター登録が可能 ■効率の良い登録作業 ■自動測定はサンプルを置いて測定ボタンを押すだけ ■透過のみでなく落射照明にも対応 ■落射照明などで自動測定が困難な物には操作簡単な手動測定機能も充実 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『ハンディAFM』は、SEMや高倍率の3次元光学顕微鏡の変わりに使用 することができる原子間力顕微鏡です。 サイズは、奥行き幅共に15cmの超小型。 走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの2種類が選択でき、交換も瞬時に 行えます。 【特長】 ■プローブの交換が数秒で実施可能 ■カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能 ■オプションで小型の自動ステージやインライン全自動機に対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
