大気環境アライナ(アライナ) - 企業1社の製品一覧

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大気環境用アライナ『OFH-4100シリーズ』

【50~300mmウエハ用】 業界最短アライメント時間を達成する吸着保持式アライナ

■上位コマンドにより、複数サイズのウエハアライメントが可能 ■オリフラ部及びノッチ部を指定位置に停止可能(ウエハID読取り利用) ■石英ウエハにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ピッキングロボット(棚搬送ロボット、アームピッキングロボット)

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大気環境用アライナ『EG-303 シリーズ』

【300mmウエハ用】ウエハ裏面に接触しないエッジグリップタイプのアライナ

■3本爪可動によるエッジグリップ方式で高精度なセンタリング ■オプションのバッファポートにより、アライメント中のロボット待ち時間を最小化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ピッキングロボット(棚搬送ロボット、アームピッキングロボット)

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