大気環境用アライナ『EG-303 シリーズ』
【300mmウエハ用】ウエハ裏面に接触しないエッジグリップタイプのアライナ
■３本爪可動によるエッジグリップ方式で高精度なセンタリング ■オプションのバッファポートにより、アライメント中のロボット待ち時間を最小化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- Company：株式会社ダイヘン
- Price：応相談
大気環境アライナ - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products
大気環境アライナ Product List
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大気環境用アライナ『OFH-4100シリーズ』
【50～300mmウエハ用】 業界最短アライメント時間を達成する吸着保持式アライナ
■上位コマンドにより、複数サイズのウエハアライメントが可能 ■オリフラ部及びノッチ部を指定位置に停止可能（ウエハID読取り利用） ■石英ウエハにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- Company：株式会社ダイヘン
- Price：応相談
