フォトリソコート用ディップコーター(SA-1407-S1)
2インチウェハー対応、精密なフォトリソ工程を支援
本装置は、複数の2inchウエハー、金属板、ガラス等に同時にフォトリソコート液の薄膜ディップコーティングを目的とした、DIP/乾燥の工程を自動的に行うディップコーターです。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を応用したディップコーターです。 ストローク290mm、2インチウェハーに対応。均一なレジスト膜形成を可能にし、微細加工のフォトリソグラフィ工程を支援します。小規模研究から試作工程に最適なモデルです。
- 企業：株式会社ＳＤＩ 京都本社
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
