クリーンルーム内部機器『クリーンエアーオーブン』
レジスト膜の乾燥などに好適！製品や材料の寸法、種類に応じて様々なご要望に対応
半導体工業におけるウエハーの焼鈍やレジスト膜の乾燥、 光学分野での 洗浄後のレンズ乾燥および医療器材の無菌乾燥等は高温・高清浄度環境で 制御された「クリーンオーブン」が好適です。 当社では、庫内温度60～200℃の”標準”や、蒸気オーブン・大型オーブン といった方式の”特殊”な『クリーンエアーオーブン』を取り扱っております。 また、製品や材料の寸法、種類に応じて様々なご要望に対応。ご用命の際は お気軽にお問い合わせください。 【標準クリーンエアーオーブン 仕様（一部）】 ■型式：ACO-200-554K ■清浄度（常温時、総合効率にて）：ISOクラス5（クラス100） ■集塵効率：0.3μm粒子にて99.97％以上 ■集塵要素 ・メインフィルター：高温用HEPAフィルター ・プレフィルター：不織布フィルター ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本エアーテック株式会社 本社
- 価格：応相談
