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有機物のTOF-SIMS分析

有機物分析の例としてポリエチレングリコールを分析した事例をご紹介いたします

TOF-SIMSは元素及び有機物の分子、フラグメントイオンの検出が可能であり、有機物の分析にも有効です。有機物分析の例としてポリエチレングリコールを分析した事例をご紹介します。二次イオンマススペクトルは有機物の定性に有効な知見を得られる場合があります。今回の事例では、ポリエチレングリコールに特長的な繰り返し構造（C2H4O）を質量差44のピーク群として確認できます。質量数から計算すると、末端はH-,HO-であり、プロトン付加として検出されていることが推測されます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

Company：株式会社アイテス
Price：応相談

その他
SIMS分析

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微量汚染物のTOF-SIMS分析

TOF-SIMSの分析感度はppmオーダーと高感度であるため、微量汚染の分析に有効です！

再現実験により、Siウエハ上に水玉状の汚染物を作成した事例のご紹介です。同じ位置でSEM-EDXとTOFSIMSによる測定を行い、イメージマップの比較を行いました。 TOF-SIMSイメージマップではウォーターマークとその周囲に有機物（CH,CN）、 Na、K、が検出されました。ウォーターマークの周囲は光学像、SEM像及びEDX分析においても汚染と思われるものが確認できないが、TOF-SIMSイメージマップでは微量の汚染物が付着していることがわかりました。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。