【塗布装置】エア式ディスペンサーの最高峰「SuperΣシリーズ」
あらゆる分野に圧倒的納入実績。より高速サイクル、より微小に超安定塗布。 更なるハイスループットと歩留り向上に貢献。
・V5タイプ：最大吐出圧力設定範囲 0.500MPa ・半自動/全自動塗布装置対応 ・世界唯一「エアパルス安定回路(PAT.)」搭載 ・圧倒的な納入実績 ・世界の半導体製造装置市場で、「高スループット化」を牽引。 ・「更なる微小塗布」を実現。 ・「圧力変化の追従性」を向上。 ・低粘度液剤の塗布安定性UP。 ・Σ三大機能の更なる性能UP。(水頭差自動補正、バキューム自動補正、自動残量警告) ・耐久性、メンテナンス性の向上。 ・高精度に液体制御を行うエアパルス式(エア式)ディスペンサーです。 ・様々なアプリケーションへ対応いたします。 ・ワークサイズに合わせ、幅広いストロークラインナップを持つ当社製卓上型ロボット「SHOTMASTER/SHOTminiシリーズ」、当社製直交ロボット「CROSSMASTER Rxシリーズ」と共にシステムアップ可能です。 ・充実の海外サポート対応。(海外11拠点) 海外事業所でも安心。各拠点にエンジニア常駐。 お問合せの際は、リンクより弊社Webサイトをご確認ください。
