クリーンルーム内部機器『サーマルクリーンチャンバー』
温度ゆらぎ精度は0.1℃～0.002℃まで可能！5～40％RHの低湿度仕様のご要望にも対応
『サーマルクリーンチャンバー』は、清浄度がISOクラス4（クラス10）の クリーンルーム内部機器です。 PID制御、超精密部品および温度精度に合わせた気流システムを採用しており、 温度ゆらぎ精度は0.1℃～0.002℃まで可能。 また、湿度制御は40～60％RHの標準仕様範囲のほか、5～40％RHの低湿度仕様の ご要望にもお応えします。 【特長】 ■清浄度はISOクラス4（クラス10） ■±0.1℃～±0.005℃の温度コントロールが可能 ■内蔵装置に合わせた設計が可能 ■複数の保護回路により安全性を考慮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本エアーテック株式会社 本社
- 価格：応相談
