フォトリソ受託加工
フォトリソグラフィーを受託加工として提供しています。試作から量産まで、高精度・短納期・柔軟対応で開発・製造をサポートします。
半導体・電子部品分野におけるフォトリソグラフィー工程の受託加工サービスを提供しています。 微細パターン形成に必要な露光・現像・レジスト処理を、高精度・高再現性・短納期で対応。試作から量産まで、幅広いニーズに応えます。 ■ 主なサービス内容 ・レジスト塗布:スピン方式に対応 ・露光:ステッパー/マスクアライナーによる高精度アライメント ・現像・ベーク:安定したプロセス制御 ・検査・評価:寸法・欠陥・膜厚などの確認 ・マスク設計支援:データ変換・設計相談も可能
- 企業:株式会社九州セミコンダクターKAW 山香工場
- 価格:応相談