フェイマスホットプレート
優れた温度分布性と安定性を実現
埋め込み式発熱体の採用で平均した優れた温度分布性と安定性を実現しました。主に研究用液体加熱・保温に使われています。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
ホットプレート - メーカー・企業と製品の一覧
ホットプレートの製品一覧
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超高温ホットプレート FT-HP-100
省エネ・コンパクト設計、瞬時に1,000℃まで昇温！石英プレートで錆びない雰囲気ホットプレート
市販のホットプレート(雰囲気炉)で低温度や鉄プレートによる酸化問題でお悩みの方、朗報です！ 【特徴】 ・瞬時に1000℃まで昇温、雰囲気ガス導入可能なホットプレート ・1000℃対応の石英製 雰囲気ホットプレート ・高純度石英プレート＋ショット加工により均熱精度抜群 ・PC通信対応高精度プログラムコントローラー装備のため、精密温度調整・制御が可能
- 企業：フルテック株式会社
- 価格：応相談
高精度 プログラマブル ホットプレート HP-220
必要な機能だけを気軽に使えるエントリーモデル（ユニテンプジャパン株式会社製）
ドイツUniTemp社の温度コントロールの高性能さはそのままに、 リフローに必要な機能だけを搭載した手軽にお使い頂けるモデルです。 コンパクトで設置も簡単です。 ■最大到達温度250℃ ■窒素ガスパージ可能 ■16ステップの温度プログラムが設定可能 ■対象物の熱容量を自動計算してコントロールするので、 設定通りに温度制御。繰返し精度も高く、オーバーシュートも殆どゼロ ■高い均熱性があり、加熱プレート上のどこでもムラなく加熱できます。
- 企業：日精株式会社 本社
- 価格：50万円 ~ 100万円
卓上ホットプレート 2モデル ＜250℃仕様/350℃仕様＞
コンパクトでありながら、高性能。 幅広いプロセスに対応。
ホットプレートの性能は、フォトリソグラフィープロセスの精度を決める重要なファクターです。 特に、膜厚・線幅・膜質の高い均一性が要求される先端プロセスや、 温度依存性の高い材料でのプロセス開発においては、 ホットプレートの性能が、プロセスパフォーマンスを見極める大きな要因となります。 タイマー制御のピンアップ機構により、正確な時間管理を実現。 ウェーハ間の均一な熱処理を可能にしました。 標準250℃モデルに加え、高温350℃モデルもご用意。 また、処理前後に均一な冷却が必要な場合は、卓上クールプレートも ご利用いただけます。 【特長】 ■高精度な面内温度均一性。 ■タイマー制御により、ウェーハ間差を低減。 ■3～8インチに対応。 ■プロキシミティーボールにより、均一なギャップを確保。 ■高温350℃モデルには、火傷防止カバーを装備。 ■空冷・水冷の卓上クールプレートもご利用可能。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社 SCREEN SPEサービス
- 価格：応相談
