サーマルパーティクリーン
風量が、10、20、30㎥/minの3タイプがあり、半導体・精密・液晶、その他産業用製造装置の局所(スポット)に精
オプションとして ◆吐出口増設(ダクト接続用単管4ヶ所まで増設可、ダンパー付き) ◆リターンダクト接続用単管増設 ◆空冷式冷凍機(屋外設置型)…冷媒配管工事・電気工事が必要(設置場所により見積り)
- 企業:三基計装株式会社
- 価格:応相談
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風量が、10、20、30㎥/minの3タイプがあり、半導体・精密・液晶、その他産業用製造装置の局所(スポット)に精
オプションとして ◆吐出口増設(ダクト接続用単管4ヶ所まで増設可、ダンパー付き) ◆リターンダクト接続用単管増設 ◆空冷式冷凍機(屋外設置型)…冷媒配管工事・電気工事が必要(設置場所により見積り)
クリーンで清浄な空気環境を低コストで実現!
清浄な空気を吹き出して、クリーンな環境を作りだすクリーンエア供給装置
風量は変更可能!多数の用途に対応できるよう3種類のバリエーションをご用意
『ASCシリーズ』は、半導体・液晶製造装置及び各種産業分野への 精密制御機器として、高精度に温度コントロールしたエアを吹き出す ユニットです。 当ユニットは、地球環境維持のため新冷媒ガス(R407C)を使用し、 多数の用途に対応できるよう3種類のバリエーションと各種オプション をご用意しました。 【特長】 ■高精度に温度コントロールしたエアを吹き出す ■地球環境維持のため新冷媒ガス(R407C)を使用 ■吹出風量は(5、10、15m3/min)の3タイプをご用意 ■風量は変更も可能 ■各種オプションもご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
吐出露点-40℃~-60℃の超低湿エアーを供給
低露点ドライエアー供給装置/DPUシリーズは露点-40℃~-60℃の超低湿エアーを供給する局所空調装置です。オーバースペックなドライルームを導入予定のお客様は局所低湿チャンバーに切り替えることで導入コスト・運用コストの大幅な削減が可能です。 リチウムイオン電池の開発をはじめ、次世代電池と言われる全固体電池の開発、粉末医薬品の研究、小ロットの生産設備として最適で、半導体・電子部品・薬品・食品などの研究開発や、電子部品・封止材・粉末製品の一時保管にもご利用いただけます。