赤外線顕微鏡『IR-1300RL』
各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測する赤外線反射顕微鏡システム
『IR1300RL』は、顕微鏡本体にオリンパス製BX53を使用した 赤外線顕微鏡です。 高解像度赤外線CMOSカメラとイメージエンハンサソフトにより、 各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測できます。 また、独自のイメージエンハンサソフトにより、張り合わせウエハーの アライメントマークずれ計測が可能です。 【特長】 ■各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測 ■顕微鏡本体にBX53オリンパス製を使用 ■X軸、Y軸、Z軸は手動動作タイプ ■アライメントマークずれ計測が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ディスク・テック株式会社 本社
- 価格：応相談
