30万回の接触後も効果に劣化がない高耐久性!液晶・有機EL等の製造装置にも対応
ガラス剥離帯電現象を軽減させる帯電防止処理『オーデント処理』の
導入事例をご紹介します。
液晶機器の製造工程においてガラス基板を搭載台(アルミニウム製)に
載置して様々な処理をしているお客様から「処理中に基板が帯電し搭載台に
貼り付き、処理終了後にガラス基板を搭載台から剥がす際、ガラス基板が
割れたり、静電気放電により半導体素子の破壊が起こり困っている」との
ご相談を頂きました。
この要件を満たしたのが、搭載台に除電設備が不要な帯電防止処理技術
『オーデント処理』でした。
採用後は、基板が割れることがなくなり、製造工程の歩留り向上を
実現しました。
【事例】
<お客様からのご相談>
■処理中に基板が帯電し搭載台に貼り付き、処理終了後にガラス基板を
搭載台から剥がす際、ガラス基板が割れたり、静電気放電により
半導体素子の破壊が起こり困っている
<オーデントご採用後のお客様の声>
■基板が割れることがなくなり、製造工程の歩留り向上に繋がった
■数年使用しているが性能が持続中
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。