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清浄流体・薬液・超純水の安定した圧力を！
LEVIBOOSTシリーズは、高純度薬液・超純水等向けにのスタンドアローン型昇圧ユニットです。既存のシステムの改造無しでライン中に設置する事が可能です。 また、レビトロニクスの持つ磁気浮上型ベアリングレスポンプと高精度な圧力センサを用いてフィードバックによる流体の圧力一定制御を可能にします。 最大75Lの600Wと最大140Lの1500Wの2つのタイプがあり、小流量から大流量までタイプに応じて0.1-04MPaの昇圧が可能です。 詳細は、お問い合わせください。
工場の設備増設に伴う純水圧不足や、その変動を、純水昇圧ユニットが解決！ 安定した供給を実現します。
純水昇圧ユニットの導入により、 純水供給圧の不足や変動の問題を解消！安定したプロセス処理を行うことができます。 純水の安定供給は、デバイス生産において、品質と歩留まりに影響する重要な要素です。 この昇圧機能は、帯電防止ユニットや純水加温ユニットへも組み込み可能。設置スペースを縮小できます。 【特長】 ■常時監視によるフィードバック機能により、安定した圧力に制御。 ■ベアリングのない磁気浮上遠心型のレビトロニクスポンプの採用で、 高い耐久性能を実現。 ■脈動のない安定した供給を実現。 ■幅広い供給流量に対応する製品モデルをご用意。 ■供給先装置の通信仕様に対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
